052.故障排除的思考邏輯｜Backside Helium flow > 4sccm alarm

 

Backside Helium Loop

1. 判斷為什麼ALARM？

答：從 ALARM message 可以找到線索。Backside Helium flow > 4sccm alarm

2. 什麼是 Backside Helium flow?

答：UPC （unit pressure control)，流量控制器上的讀值，flow > 4sccm.

3. 正常Flow是多少？

答：比對前一片沒有ALARM的水位，正常會< 1 sccm.

4. 有什麼原因造成 B/H alarm?

答：1）wafer 背面髒. 有PA讓 wafer 與 ESC 之間的空隙變大導致。

      2）ESC 吸不住， clamped voltage drop.

5. 怎麼判斷 wafer 背面髒？

答：看 datalog, 比對alarm wafer 與前一片的數值，one peak嗎？

      是的話，就可以再Load 一片 CDC 去測試，看結果。