要接新計劃嗎？

 工作日誌

1.TP8-3 ESC bias voltage 

2. TSTH TMPM

3. TST7

4. YSA1 sicl4 flow reading

突破- 和機台溝通

 工作日誌

1. TP8-1 TCP power hard alarm

Step12 power random drop

SWAP TCP gen 澄清ok

2. TPH-1 PA worse 

GDP & turbo 

3. YP21 外掛flow meter

訊號線做好

支架未裁切，帶回加工

4. YSA-1 mfc1流不足

Pump purge gas-line check

5. TP8-3 ESC bias voltage （lesson learned)

6J1…DC power,應該有解

晚下班3

 工作日誌

今天下午混亂日

1. TPH-1 PA issue, 用心了，希望過關

2. WS2-3 拆pin bellow補線上機台，因預算拆東補西

3.YS83 復歸pin bellow

難安裝，又有揮發氣體問題

要弄一堆流程

且花費時間加倍

儘快加速還是遇到一些問題

1）裝上後，三根pin 全無法上升—其中一根漏氣，換上堪用的再測試

2）三根pin 誤差超過範圍-思考許久、交換、調整

3）TMP 開啟後，foreline 壓力3000mT 異常- 調plate 位置沒幫助，

後來用手去觸摸o-ring狀況，皺皺巴巴，猜想有問題

拆下來看，o-ring 都斷裂了，好在還有的換

4. TP8-3 bias voltage issue 還沒解

持續研究

晚下班-2

 工作日誌

1.WPQ3 orifice 1-3-3

2.WPS-2 orifice 1-3-3. 哈市合金. 3） EC hold voltage 

3. WPA-1 PM

4. YPM1-3 TCP Generator

5. YSW8-3 DA alarm 

6.TSTH-3 match motor drive board

7.晚上了

TPN-1 DA alarm , 晚上了，該下班了

又來個臨時派工

一搞又到10點

不幫忙場面又難看

要幫忙就是這樣子

只是一時解不了

 工作日誌

1.TPH-1 defect

2. WPF-1 AATCW

3. TP8-1 TCP gen issue

4.TSTH-3 TCCT issue

5. TST7 LP1 issue

又是 ESC 更換

 工作日誌

1.TPG2 ESC 

2.WPI-3 

Teams 安裝

中秋後的100%高效能運作-T3 time out

工作日誌

1. TPH-3 front left temp

2. wSW3 T3 timeout

額外的工作、前後花了兩小時，

好在順利解決

3. TG-2 ESC replacement  

Pin up alarm due to ESC bias voltage exceeds threshold 

這換ESC 澄清，要是有招，何必動大手術

4. TSW5 T3 time out

這次好在有人一起處理，要是只我一人

其他人還是閒著

沒在思考如何解決

光這條，就花了兩小時處理

又花了兩小時善後，就八點半了

在測試半導體晶片的過程中，每個測試步驟會有時間限制，超過這個限制時間，設備或系統可能會自動終止該步驟並報告錯誤。這個時間限制可能會被稱為 T3 Time Out。

兩人值班的週末

 工作日誌

1. TP83 bias voltage 1999 又來

頻率大約10天一次

導致捕蝕刻

2. TPI-1 TMP ISO 不開

題材- 有意思的議題FXCDA bank

閥件不開導致turbo  pump 降轉

檢查閥件不開原因-》CDA 沒給氣

檢查沒給氣原因-》 有給訊號、電路板的燈有亮

澄清電磁閥，果然有問題

3. YPM1 LP upper position err

前面有人處理兩次啦

是磁簧開關位置問題，

應該不會再發生

4. YPA2 chamber wall temp high issue

後蓋板加裝風扇，有改善

5. YST4-2 bias gen power no output

Cable RF interlock 固定

Pro season no alarm

6.TPH-1 PM

7.WPLL-3 PM

再添兩顆ESC

 工作日誌

1. Offline job: 6篇SOP上傳與連結

先求有、再求好

2.TSWA3 Pa worse issues 

即時的解決方案，瞬間達成協議

期待看到好結果

3. 庫房領ESC 2顆

4. TPO-2 right TCW over temp alarm

一個被換走的TCW 零件

第二天的人沒修

到底三天我去看，發現狀況跟交接說的不一樣

到現場就發現風扇不轉

只加熱的狀況也是會過熱alarm 

先找一台down 的來換

4. TH-2 SWAP TCW module & power cycle chiller

5. TPG-1 rps new ESC

前置作業-推皮卡丘，抽氣箱

流程表確認

安裝

作帳，印條碼

零件儲位入儲

儀器設備歸位

填工單

6. WPS2 rps new ESC 

前置作業-推皮卡丘，抽氣箱

流程表確認

安裝

作帳，印條碼

零件儲位入儲

儀器設備歸位

填工單

7. YS12 v187 issue 

沒答案的第二題，模擬測試

8. YST5-1 output value

沒答案的三題，動作sensor 交換澄清

 

 

連續的ESC更換

 工作日誌

1.TPG2 ESC

每個人的態度不一樣，有人就會幫忙

因為我的工作會影響到他的進度

有的人就不會幫忙，跑到旁邊休息不幫忙

願意幫忙的感覺很好

2.TP42 ESC

有能力做的人一起幫忙

動作快很多

也會比較安心

3. YJ TM pressure min FDC

只是一時無解，不是一直無解

4. Offline EQP & FDC 連結

處理了，三篇

需再處理另外三篇

把剩下五篇上傳，寄給瑞隆、滄琪

Node2 mother｜突如其來的ESC更換

 工作日誌

1. TST23 PM

2. TST7-3 PV motor / heater

3. TP8-3 node2

4. WP11 recover 

Node2 mother 待澄清

Node2 board 掛了

5. YP8-1 ESC 

要換的東西，理論上應該就要先進來

哪有人臨時叫東西臨時換

工時拖的7晚八晚

大家業務繁忙

更需要組織工作

改版-第一天記錄

 工作日誌

1. WPQ-2 POER high

Replace wnd ok

2. WPM-2 mid-in 150

Wait probe

3. WP1-2 pressure FDC

TMP ISO 不開，CDA 管脆化斷管，更換接頭氣嘴

4.Ts8-3 inline issue

Coil check & injector

5. ALM meeting 

T-link 盤查

6. TST7-3 Off turn on 盤點

備胎肉、弄得好幾處不好

得一個一個澄清

7. TP8-3 bias voltage 1999V issue 題材

這台根本就是放給我處理的

從上週六放到今天，到我才有動作

且又多了一個故障

相關可以一次解決問題的方法是node2

別人更換過了，但現象仍是指這這裡的問題

我就在換一次澄清

果然有幫助

8. PIP廠級會議

事情一堆

還開會走進走出的

名符其實的多事

9. TAP prolong及簽核

10. 幫瑞德詢問凱文ESC SN