晚下班3

 工作日誌

今天下午混亂日

1. TPH-1 PA issue, 用心了，希望過關

2. WS2-3 拆pin bellow補線上機台，因預算拆東補西

3.YS83 復歸pin bellow

難安裝，又有揮發氣體問題

要弄一堆流程

且花費時間加倍

儘快加速還是遇到一些問題

1）裝上後，三根pin 全無法上升—其中一根漏氣，換上堪用的再測試

2）三根pin 誤差超過範圍-思考許久、交換、調整

3）TMP 開啟後，foreline 壓力3000mT 異常- 調plate 位置沒幫助，

後來用手去觸摸o-ring狀況，皺皺巴巴，猜想有問題

拆下來看，o-ring 都斷裂了，好在還有的換

4. TP8-3 bias voltage issue 還沒解

持續研究