兩人值班的週末

 工作日誌

1. TP83 bias voltage 1999 又來

頻率大約10天一次

導致捕蝕刻

2. TPI-1 TMP ISO 不開

題材- 有意思的議題FXCDA bank

閥件不開導致turbo  pump 降轉

檢查閥件不開原因-》CDA 沒給氣

檢查沒給氣原因-》 有給訊號、電路板的燈有亮

澄清電磁閥，果然有問題

3. YPM1 LP upper position err

前面有人處理兩次啦

是磁簧開關位置問題，

應該不會再發生

4. YPA2 chamber wall temp high issue

後蓋板加裝風扇，有改善

5. YST4-2 bias gen power no output

Cable RF interlock 固定

Pro season no alarm

6.TPH-1 PM

7.WPLL-3 PM