為自己工作、而非公司

 工作日誌

1. WP11 match motor drive

PCB

TCW fan and RTD

Cap1/cap3 需要校正

2. WPF-1 off turn on

Off 太久

被當成廢機似的拆用可用零件

拆得不成樣

也出現許多問題

堅持把它弄好的是興趣

若沒興趣，很快就遇到困難，

玩不下去了。

今日完成的故障排除

1. Match motor drive board

2. ESC power supply PCB~沒改善

3. UPC ～沒改善

已六點多了，本想休息後，隔日再戰

但湧起了責任心

查一下接收信號的電路板（node2)

找了一塊確認好的東西澄清

賓果！解了這兩個問題

是自己覺得有趣而繼續摸索

否則就會放著⋯⋯哈哈😂

送修-不可避免卻又沒人做的事

 工作日誌

1. WP11 recover

CM2 領料、安裝

PV motor  領料

TCR 領料

Heater check

送修

2. TPK2 PV motor 網路線

特殊作法，還是要思考一下再動作

尤其是第一次

要仔細比對、思考出完整的做法再動作

否則就像這次

花了很多時間在使用「錯的工具及材料上」

之後，應該只要使用水晶頭救星就好

OFF tool recover WP11

工作日誌

1. TPD-1 MFC 終於高風險換人處理

2. WPI-2 Gas box CDA bank

YPM2-3 SWAP for WPI2 STG1 alarm 

測試是偶發，所以換過去還能用

3. WP11 off 很久，也被拆很多東西

盤點被拆過的東西

澄清壞掉的東西

能修的儘快下機送修

OFF recover WPE-3

 工作日誌

1. WPE-3 off tool 綜合復歸

Match motor drive board from WPB-2 other off

C1 cap

Coupling 還被磨耗光了，還好還有廢品區可以補料

升溫也沒問題了，剩PM 檢查ESC 

進行chiller turn on

OFF recovery WSW2-3

 工作日誌

1. WSW2-3 off recovery 

繼WPP-2，有一台重大傷害的機台復歸了

從無法pump down, 無法升溫，被拆了許多的零件

還有水接頭爆了，

一開水閥就流個不停，

好在有發現，即時停止

另外發現series cap position 無讀值

晟說是好的bias match 才換過來的，應該是好的，

換掉時發現訊號線沒接好，

為了先復歸，留到另一台再來澄清了

總之，這台終於可以運作了

2. TSD-1 swap bias match recover

3. WPE3 TCP match clean & recover TCW fan

DA sensor

 工作日誌

1. YP11 DA sensor 換第八顆

2. WSW2-3 CM2,PM, turn on chiller(小心謹慎）

Bias match 竟然漏水

應是水接頭

3. WP12 MFC 13 NF3 inner leak

漸入佳境- 一步一步的變好

 工作日誌

1. WSW2-3 heater /TMP ISO

2. WPE-3 CH ISO /PV motor 

3. WPF-2 TCW heater 好了, 但ESC 壞了

4. WP1-1 盤點行動

5.WPH-1 盤點行動

6. WPM-3 盤點行動

7. WPP-2 NRMS, PACT

8. 漲知識 FX WPH-2 

PM後，chamber LR4

傑哥花了很多時間抓漏沒有收穫

睿哥幫忙也沒反應

後來澄清是CM1ISO valve 

檢討過程確實也合理

最後就是要分析為何它不及格。

TCP / Bias 一次壞兩顆

 工作日誌

1. WPP2 off turn on

修到剩bias coolant flow switch not sensed alarm 

結果連TCP 也call  coolant flow not sensed alarm 

同時有問題

為了省錢 拆機澄清，多花了7小時值得嗎？

第一拆 TCP 好了，

接著就不順利了

Bias 連換三顆 generator ,兩個沒記錄，一個他台不同故障因素

沒道理發出一樣的故障吧？！

於是朝其他零件澄清：

1）換電磁閥

2）換訊號線

3）換node1

4) 換node1 interlock PCB

乾，沒道理了，迴路就這些東西

商量拆線上確定是好的generator 好了

果然～現象轉移了

行動總結

換完兩顆一上午3小時

澄清迴路一下午4小時（四大項）

善後交接一晚上3小時

概略計算行動項目：

1 互換 to WPP2 TCP

2 復歸wPP1 bias

3 WPP2 TCP to WPP2 bias fail

4 wPH-1 bias to WPP2 bias fail

5復歸WPP2 bias to WPH1 bias

6 WPp1 TCP (from WPPI-3 forward power issue) to WPP2 bias fail

7互換 電磁閥YPM2-3

8互換 cable with WPP1

9互換node1 with WPP1

10 互換node1 interlock PCB with WPP1

11互換 線上WPH-2bias gen ok

12 復歸電磁閥YPM2-3

13 復歸 cable with WPP1

14 復歸 node1 with WPP1

15 復歸 node1 interlock PCB with WPP1

16 復歸 線上WPH-2bias gen ，現象轉移

17 校正TCP gen 

18 校正 bias gen

Pin bellow

 工作日誌

1. WS2-3 replace pin bellow

復歸之前沒預算的行動

花了好的虛工

交接效率一事

1. 每件事都要逼值班查個水落石出 

2. Review 的人給不出方向

3. 有sponsor 卻不是sponsor 接手處理

4. 故障排除非平均分配

OFF turn on

 工作日誌

1. TST7-3 LTC/C1-C3/CM3

2. wPP-2  RTD+bias sample holding + photon sensor 

3. WS2-3 盤點- pin bellow

4. WPE3 盤點- PV motor

5. WPF2 盤點-CM2

要接新計劃嗎？

 工作日誌

1.TP8-3 ESC bias voltage 

2. TSTH TMPM

3. TST7

4. YSA1 sicl4 flow reading

突破- 和機台溝通

 工作日誌

1. TP8-1 TCP power hard alarm

Step12 power random drop

SWAP TCP gen 澄清ok

2. TPH-1 PA worse 

GDP & turbo 

3. YP21 外掛flow meter

訊號線做好

支架未裁切，帶回加工

4. YSA-1 mfc1流不足

Pump purge gas-line check

5. TP8-3 ESC bias voltage （lesson learned)

6J1…DC power,應該有解

晚下班3

 工作日誌

今天下午混亂日

1. TPH-1 PA issue, 用心了，希望過關

2. WS2-3 拆pin bellow補線上機台，因預算拆東補西

3.YS83 復歸pin bellow

難安裝，又有揮發氣體問題

要弄一堆流程

且花費時間加倍

儘快加速還是遇到一些問題

1）裝上後，三根pin 全無法上升—其中一根漏氣，換上堪用的再測試

2）三根pin 誤差超過範圍-思考許久、交換、調整

3）TMP 開啟後，foreline 壓力3000mT 異常- 調plate 位置沒幫助，

後來用手去觸摸o-ring狀況，皺皺巴巴，猜想有問題

拆下來看，o-ring 都斷裂了，好在還有的換

4. TP8-3 bias voltage issue 還沒解

持續研究

晚下班-2

 工作日誌

1.WPQ3 orifice 1-3-3

2.WPS-2 orifice 1-3-3. 哈市合金. 3） EC hold voltage 

3. WPA-1 PM

4. YPM1-3 TCP Generator

5. YSW8-3 DA alarm 

6.TSTH-3 match motor drive board

7.晚上了

TPN-1 DA alarm , 晚上了，該下班了

又來個臨時派工

一搞又到10點

不幫忙場面又難看

要幫忙就是這樣子

只是一時解不了

 工作日誌

1.TPH-1 defect

2. WPF-1 AATCW

3. TP8-1 TCP gen issue

4.TSTH-3 TCCT issue

5. TST7 LP1 issue

又是 ESC 更換

 工作日誌

1.TPG2 ESC 

2.WPI-3 

Teams 安裝

中秋後的100%高效能運作-T3 time out

工作日誌

1. TPH-3 front left temp

2. wSW3 T3 timeout

額外的工作、前後花了兩小時，

好在順利解決

3. TG-2 ESC replacement  

Pin up alarm due to ESC bias voltage exceeds threshold 

這換ESC 澄清，要是有招，何必動大手術

4. TSW5 T3 time out

這次好在有人一起處理，要是只我一人

其他人還是閒著

沒在思考如何解決

光這條，就花了兩小時處理

又花了兩小時善後，就八點半了

在測試半導體晶片的過程中，每個測試步驟會有時間限制，超過這個限制時間，設備或系統可能會自動終止該步驟並報告錯誤。這個時間限制可能會被稱為 T3 Time Out。

兩人值班的週末

 工作日誌

1. TP83 bias voltage 1999 又來

頻率大約10天一次

導致捕蝕刻

2. TPI-1 TMP ISO 不開

題材- 有意思的議題FXCDA bank

閥件不開導致turbo  pump 降轉

檢查閥件不開原因-》CDA 沒給氣

檢查沒給氣原因-》 有給訊號、電路板的燈有亮

澄清電磁閥，果然有問題

3. YPM1 LP upper position err

前面有人處理兩次啦

是磁簧開關位置問題，

應該不會再發生

4. YPA2 chamber wall temp high issue

後蓋板加裝風扇，有改善

5. YST4-2 bias gen power no output

Cable RF interlock 固定

Pro season no alarm

6.TPH-1 PM

7.WPLL-3 PM

再添兩顆ESC

 工作日誌

1. Offline job: 6篇SOP上傳與連結

先求有、再求好

2.TSWA3 Pa worse issues 

即時的解決方案，瞬間達成協議

期待看到好結果

3. 庫房領ESC 2顆

4. TPO-2 right TCW over temp alarm

一個被換走的TCW 零件

第二天的人沒修

到底三天我去看，發現狀況跟交接說的不一樣

到現場就發現風扇不轉

只加熱的狀況也是會過熱alarm 

先找一台down 的來換

4. TH-2 SWAP TCW module & power cycle chiller

5. TPG-1 rps new ESC

前置作業-推皮卡丘，抽氣箱

流程表確認

安裝

作帳，印條碼

零件儲位入儲

儀器設備歸位

填工單

6. WPS2 rps new ESC 

前置作業-推皮卡丘，抽氣箱

流程表確認

安裝

作帳，印條碼

零件儲位入儲

儀器設備歸位

填工單

7. YS12 v187 issue 

沒答案的第二題，模擬測試

8. YST5-1 output value

沒答案的三題，動作sensor 交換澄清

 

 

連續的ESC更換

 工作日誌

1.TPG2 ESC

每個人的態度不一樣，有人就會幫忙

因為我的工作會影響到他的進度

有的人就不會幫忙，跑到旁邊休息不幫忙

願意幫忙的感覺很好

2.TP42 ESC

有能力做的人一起幫忙

動作快很多

也會比較安心

3. YJ TM pressure min FDC

只是一時無解，不是一直無解

4. Offline EQP & FDC 連結

處理了，三篇

需再處理另外三篇

把剩下五篇上傳，寄給瑞隆、滄琪

Node2 mother｜突如其來的ESC更換

 工作日誌

1. TST23 PM

2. TST7-3 PV motor / heater

3. TP8-3 node2

4. WP11 recover 

Node2 mother 待澄清

Node2 board 掛了

5. YP8-1 ESC 

要換的東西，理論上應該就要先進來

哪有人臨時叫東西臨時換

工時拖的7晚八晚

大家業務繁忙

更需要組織工作

改版-第一天記錄

 工作日誌

1. WPQ-2 POER high

Replace wnd ok

2. WPM-2 mid-in 150

Wait probe

3. WP1-2 pressure FDC

TMP ISO 不開，CDA 管脆化斷管，更換接頭氣嘴

4.Ts8-3 inline issue

Coil check & injector

5. ALM meeting 

T-link 盤查

6. TST7-3 Off turn on 盤點

備胎肉、弄得好幾處不好

得一個一個澄清

7. TP8-3 bias voltage 1999V issue 題材

這台根本就是放給我處理的

從上週六放到今天，到我才有動作

且又多了一個故障

相關可以一次解決問題的方法是node2

別人更換過了，但現象仍是指這這裡的問題

我就在換一次澄清

果然有幫助

8. PIP廠級會議

事情一堆

還開會走進走出的

名符其實的多事

9. TAP prolong及簽核

10. 幫瑞德詢問凱文ESC SN 

疫情後的測試

 

快樂生活的兩項原則

 

學習的過程，除了自己學習

看到別人學習相同的東西，自己也會有所收穫

今天幫同學看他讀完文章之後的示範模擬

讓我又重新想要看一下這快樂生活的兩項原則

第一點是：能夠體驗任何事

想要快樂，就必須能夠面對（也就是體驗）一切實際存在的事物

第二點是：只做別人能夠輕易體驗的事

疼痛、負面情緒及瘋狂，全都源自於做出別人，無法輕易體驗的事

所以，不良行為就是對方無法輕易體驗的行為。

054. Primary valve LR

054. Lord port/ unit detect sensor