047. 不可不知｜TDK Load port 正常動作順序

要瞭解「作動原理」，才能「一一釐清問題」 

如何弄懂原理？

平常就需要觀察學習，

學習機器的每個零件名稱，功能，作動方式，

觀察他正常作動的狀況，

當機器異常時，才有敏銳度去找出問題。

TAS300

keywords: LP, load port

Load port 常見的 alarm 為 command reply error.

就是Load port 作動到某一步驟時，沒有收到正確的位置訊號，

因而 alarm. 

此時會到現場，用指撥開關判斷是卡在哪一步驟，

有一對照表。

以下為FOUP 在Load port 上的動作順序

1.     讀取FOUP ID (RFID)

2.     Clamp

3.     Dock in (shuttle in)

4.     Vacuum on

5.     Latch open

6.     Door open

7.     Door down

8.     ------------ 以上open door

9.     Door up

10.  Door close

11.  Latch off

12.  Vacuum off

13.  Dock out (shuttle out)

14.  Clamp up

15.  Clamp backward

16.  Clamp down

-----------  9-16 Close door