048. 不可不知｜壓力計 manometer

 

有什麼差別？

上述提到的manometer gauge vs. pressure gauge 有什麼差別?

中文雖然都叫壓力錶，現在我終於懂差別了。

壓力有分「相對壓力」及「絕對壓力」。

還沒看過壓力的可以回顧之前文章   EP020. 兩張圖帶你看懂「壓力」

manometer gauge是絕對壓力錶，故底壓是 0，這環境是真空，近乎於什麼都沒有。

有點空氣分子進來環境中，壓力就會上升，ex. 5mTorr, 10mTorr (1大氣壓760,000mTorr)

Pressure gauge是相對壓力錶，環境為1大氣壓，壓力錶 0，表示環境壓力為1大氣壓。

例如：壓縮空氣壓力 7 kg/cm2, 或胎壓 40psi。

keywords: manometer, CM1,CM2,CM3, hasting gauge

這些概念簡單，卻實用，

看了就懂，可以應用在工作中的小知識。

壓力量測篇：

這裡要說明的是量測壓力的器具，

不是人們「心理的壓力」（目前還沒發明出來）

需是環境中「真實的壓力」。

以下介紹各壓力量測的器具名稱及功能：

CM1

功能：量測 chamber 內部壓力

量測範圍： 0 -100 mTorr

原理：膜片電容式

CM1 process manometer

CM2

功能：量測 chamber 內部壓力

量測範圍： 0 - 10 Torr

Interlock 設定：S1:0.5V.    S2:0.1V

為何設定interlock？當chamber 壓力<100mT，使用CM1回報UI

CM2 chamber manometer

CM3

功能：量測 foreline 內部壓力

量測範圍： 0 - 10 Torr

Interlock 設定：S1: 1V.

為何設定interlock？當foreline 壓力>1000mT，PV 關起來， 

                                     防止管路髒東西 回灌chamber

CM3 Foreline manometer

TM pressure gauge

功能：量測 VTM/Airlock 內部壓力

量測範圍： 0 – 999,000 mTorr (1000Torr)

Airlock pump 壓力讀值:    90 mTorr

Airlock vent  壓力讀值: 73x,xxxx mTorr

Airlock hasting gauge