047. 不可不知｜TDK Load port 正常動作順序

要瞭解「作動原理」，才能「一一釐清問題」 

如何弄懂原理？

平常就需要觀察學習，

學習機器的每個零件名稱，功能，作動方式，

觀察他正常作動的狀況，

當機器異常時，才有敏銳度去找出問題。

TAS300

keywords: LP, load port

Load port 常見的 alarm 為 command reply error.

就是Load port 作動到某一步驟時，沒有收到正確的位置訊號，

因而 alarm. 

此時會到現場，用指撥開關判斷是卡在哪一步驟，

有一對照表。

以下為FOUP 在Load port 上的動作順序

1.     讀取FOUP ID (RFID)

2.     Clamp

3.     Dock in (shuttle in)

4.     Vacuum on

5.     Latch open

6.     Door open

7.     Door down

8.     ------------ 以上open door

9.     Door up

10.  Door close

11.  Latch off

12.  Vacuum off

13.  Dock out (shuttle out)

14.  Clamp up

15.  Clamp backward

16.  Clamp down

-----------  9-16 Close door

043. 三用電錶｜"電路" 故障排除的好用工具

 

三用電錶

keywords: LRC meter, 三用電錶，電阻，電壓

1. 怎麼判斷 TCR, TCW 加熱器的好壞？

答：量電阻。

2. 若加熱器有電阻是好的，卻不會加熱，怎麼處理？

答：量電壓。

實際怎麼操作？

1. 三用電錶的功能及使用。

答：三用電錶可以同時測量電壓、電流和電阻來進行電子維修、測試和檢測等工作

常用的為 1)交流電壓檔 2)電阻歐姆檔

2. 量電阻的操作案例

答：使用電阻歐姆檔。說明如下圖。

電阻歐姆檔

3. 量電壓的操作案例。

答：使用交流電壓檔。說明如下圖。

交流電壓檔

036. datalog viewer | platform datalog setup

 

Diagnose Trace

keywords: datalog viewer | platform datalog setup

1. 怎麼手動測試機台，並留下datalog?
答：Diagnose trace.  Diagnose\Platform Diag Trace Window，如上圖

2. 怎麼設定要確認的senor / indicator ?

答：Go to the Diagnose\Platform Diag Setup window.

3. 練習，以設定Backside He pressure 為例，如下圖

1. Set up a diagnostic trace specification with the following variables: 

   − HeBacksideFlow_AI
   

   − HeBacksidePressure_AI
   − ChamberManometerAdjustedPressure
   − ProcessManometerAdjustedPressure
   
   
   註：AI 是什麼意思：（analog input, 類比訊號輸入，UI 接收到的訊號）

Diag Setup Window

027. ESC temp calibration with on wafer

 

on wafer 65點溫度計，高級溫度計

Reference: 202-050072-205

keywords: on wafer, ESC cal

概念摘要

1. on wafer 是什麼？

答：溫度計，wafer 上有65個溫度計，用來偵測ESC表面各個位置的溫度。

2. ESC為何需要校正？

答：4 zone ESC，有4個偵測溫度的photon sensor，但真的就準確嗎？
        因此藉由on wafer 這更精準的溫度計，校正ESC temp。

3. 校正怎麼做？

答：Cal1/Cal2/Cal3，完成校正後，再收一個duty cycle 的部份，
        確認4 zone 在40度、50度、60度、70度的 Mean (均值）及Range (最大最小落差）    

        是否符合規範。

Setting	TCU1	ESC 4 zone
Cal 1	10	20
Cal 2	10	60
Cal 3	30	60

• ●  Preparing the System

  答：check recipe 內容，calibration point 1/2/3，我把它簡化成上述的表格，
  

  以下圖為procedure 完整內容

  
  

  

  Calibration 1 setpoint

  
  
  
  
  
  

  

  Calibration 2 setpoint
  
  

  

  Calibration setpoint 3

  
  

• ●  Performing the Calibration

  答：校正的頁面，UI 操作畫面的位置，就是要在這頁面，

  用on wafer 計算出4 zone 溫度 的offset（誤差值）

  以cal 1 為例，TCU設定10度，ESC temp 設定在20度，

  on wafer 進 chamber 去收集資料，

  透過這方式，計算出4個區域的溫度，將 on wafer 的平均值

  key 進圖中的 inner, mid inner, mid outer, outer 四個區域，

  完成Cal1 校正。

  Cal 2， TCU設定10度，ESC temp 設定在60度，重覆上述動作。

  Cal 3， TCU設定30度，ESC temp 設定在60度， 重覆上述動作。

  
  

  

  UI 操作介面位置

  
  
  
  
  
  

• ●  Restoring the Previous Calibration State

  答：呼換出先前一次的校正值。

  

  原文重現

  
  
  

• ●  Resetting the Calibration Values to Zero

  答：校正前，將校正值歸零的按鍵，會跳出視窗，詢問確認要歸零。

  

  原文重現
  

  
  

• ●  Determining the ESC Zone Average Temperatures for the OnWafer Using Lam DA

  答：on wafer 65個點，怎麼區分4 zone 的資料呢？
  

  2016年前我學的時候，確實要去點選各區的點，來算平均值

  現在Lam DA 有開發出軟體可以計算，

  只要將 on wafer 的資料，另存為excel 的.csv檔案格式，丟到機台

  用軟體開啟excel 的檔案，

  完成一些基本選項設定，如：4 zone, 開始秒數/結束秒數。 

  

  Lam DA -> special knowledge -> ESC temp Calibration

  
  

  

  ESC temperature Calibration Window

  
  

   

  

  KLA on wafer result 判讀
  

  
  

  後記

  這是我在公司，第一個學會的技能，

  當被派工要收 on wafer，學長擔心我做不到時，

   我早就主動學會，說我能完成的同時，令Leader驚訝的一刻

  這大約是在2013年的事了，到現在還歷歷在目。 

  
  

   

   

025. FDC 機台監控系統基本概念

 

keywords：U，T，longterm

定義 U chart，功用。

  什麼是U chart? 計算chart, 可以設定Mean（平均值）、Range（最大值 --最小值），SLOP（後值—前值），依據物理特性可設定規格的上下限，當機台表現超過spec 的上限或下限，就會trigger alarm. 機台會pause, WEQ, 等狀況，就必須停機檢查。這部份建議先從T chart 認識起。

定義 T chart，功用。

         什麼是T chart，T = time 時間，我們希望機台能記錄wafer process時，所有重要感知器當下的狀態，例如一個溫度感知器，當chamber process時，要記錄一個溫度，假設recipe 有5個步驟，這 process recipe 歷經T5秒，如下圖，每條橫線代表每個process 該感知器回報的溫度變化，大約在60度，3條代表3個process，就是T chart。

 

T chart 溫度感知器

 

當chamber process時，要記錄一個壓力變化，假設recipe 有5個步驟，這 process recipe 歷經T5秒，如下圖，每條橫線代表每個process 該感知器回報的壓力變化，step1-2壓力設定在2mT，step3-4-5壓力設定在6mT，就同樣是T chart。

 

T chart 壓力感知器

 

 

 

 T chart 與 U chart 什麼關係

         左圖為T chart，右圖為 U chart，以mean為例，T chart 上的每條線的平均值，會變為U chart 上的一個點，綠色的線在U chat 上變成 data1，橙色線為U chart 上data2，藍色線為U chart 上data 3，紅色線為U chart 上的data4.

 

         設定上下限規格，是一門學問，在這先不探討，先讓新人有初步的認知，瞭解到chart 的由來與用意，以下為圖片說明：

1. U chart UCL （spec 上限）
2. U chart LCL （spec 下限）
3. Data1, data2, data3 符合規格
4. Data4, 超出規格。停機檢查。

 

T chart 與 U chart 什麼關係

練習使用 Long term 趨勢分析。

         Fastkey，這是舊系統用來撈長期U chart 的系統，新系統在ECP -> U chart new，使用方法近似於PCA，可以撈一週，一個月，甚至是一年的U chart data.

         偶爾會有老人提起fastkey 這字眼，指的就是長期U char的趨勢。