1. 什麼是壓力？
「壓力」是作用在物體表面上垂直做功時每單位面積力的大小，常用的單位換算有 mTorr、Kg/cm2、Bar(Pa)及 psi 等。
2. 大氣壓：
在海平面上測得的空氣壓力約為 1 kg/cm2，其來源是大氣層中空氣的重量，因此又稱為大氣壓力，常以 atm 表示，1 kg/cm2 約等同於 1 大氣壓力（1 atm）。實際的大氣壓力則會隨著海拔高度、溫度及天氣等因素而有所變動。
3. 絕對壓力及相對壓力：
絕對壓力的壓力值 ＝絕壓值，以絕對壓力為基準的壓力錶 ＝絕對壓力錶
ex. CM1, CM2, CM3
相對壓力的壓力值 ＝錶壓值，以相對壓力為基準的壓力錶 ＝相對壓力錶
ex. MFC transducer, He pressure gauge 等
圖解絕對壓力及相對壓力
帶著以上的概念，重新看一次機台用到的gauge 吧
No. | 縮寫 | 全名 | 量測範圍 | Interlock switch | 如何應用？ |
1 | CM1 | Process manometer | 0 - 100 mTorr | NA | Chamber 壓力小於100mT, 用CM1讀 |
2 | CM2 | Chamber manometer | 0 - 10 Torr | 0.1V (100mT) 0.5V (500mT) | Chamber 壓力大於100mT, 用CM2讀 |
3 | CM3 | Foreline Manometer | 0 - 10 Torr | 1V (1000mT) 10V (non use) | Foreline壓力大於1000mT, PV close |
4 | CM4 | Backside helium UPC | 0 - 50 psi | NA | 需pump down, 確認pressure & flow 零點 |
5 | TM | Pressure gauge | 0 – 760,000 mT | NA | VTM gauge Normal 95mT |
6 | AL1 | Hasting gauge | 0 – 930,000 mTorr | NA | Airlock gauge |
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