040. 不可不知 ｜傳送路徑，你有留意過這東西嗎？

 

notch

keywords: notch, aligner.

1. wafer 傳送路徑

答：Load port -> ATMarm -> Aligner -> Airlock -> TransferChamber -> PMx ->

        TransferChamber -> Airlock -> ATMarm -> cooling station -> Load port

example of a Waferflow 

2. notch 是什麼？

答：缺口，在wafer 上做記號，定位wafer用。

notch

3. Aligner 是什麼？

答：藉由CCD找到notch 定位後，再傳進Airlock，以保持notch在chamber 中都能在設定位置。

註:（CCD(Charge Coupled Device:電荷耦合元件)是一種類似積體電路(IC)的半導體電子元件.主要的功能可以把光轉換成電)

Aligner

039. 不可不知 ｜Airlock 的功能及相關操作

 

Keywords: ISO valve, Airlock, AL

1. Airlock是什麼功能？

答：Airlock是一個頻繁切換 「真空 及 大氣」的空間。wafer 必經路徑。

2. Airlock 怎麼變為真空狀態？

答：藉由 真空 pump 抽為真空。

3. Airlock 怎麼從真空，再變回大氣呢？

答：vent valve , Airlock 灌入 N2 （氮氣），使之回到大氣壓。

4. 上圖這個零件是什麼？

答：Airlock ISO valve. 中文是「隔離閥」

5. Airlock ISO valve 功能是什麼？？

答：隔離閥，控制一個通道 「開」或「關」的狀態。

        Airlock是一個頻繁切換 「真空 及 大氣」的空間，ISO valve 開，Airlock pump down.

註：pump down: 一個空間，藉由真空pump 抽為真空。

帶著這些觀念來看以下的圖：

Airlock P&ID圖

總結Airlock 的組成要件

1. 大氣側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在ATM側。

2. ISO valve：有分細抽(slow pump)、粗抽(rough pump)；一端接Airlock，一端接到DPM。

3. pump 鍵：控制 ISO 開啟，使Airlock 狀態變為真空。

4. 真空側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在VTM側。

5. vent 鍵：控制 vent valve 開啟，使Airlock 狀態變為大氣。

6. vent valve：有分細抽(slow vent)、粗抽(vent) ，差別在氣量大小，使用氣體為N2（氮）。

7. Equalization valve：當AL vent 到大氣後，藉由這閥件開啟，來平衡 Airlock 與大氣壓力。

8. Hasting gauge：Airlock 的壓力錶，偵測壓力用來回報Airlock 的狀態。

 3個閥件：equalization valve, slow vent, vent valve

EP023 purge LP與LP(Load port)差別

 

Load port

purge LP與LP(Load port)差別??

keywords: purge LP,

項目	Purge LP	LP
全名稱	Purge Load port	Load port
製造商	Local vendor（）	TDK （）
功能	降低FOUP內部濕度	1.     讀取FOUP ID 2.     開關FOUP
機台位置	LP蓋板前那片結構	3F機台前方FOUP 放置區
基本作動	1        Load purge 1.1       Gas flow 1.2       Humidity 1.3       Inlet pressure  1.4       Outlet pressure 1.5       Temperature 2        Continue purge  2.1       Gas flow 2.2       Humidity 2.3       Inlet pressure  2.4       Outlet pressure 2.5       temperature 3        Unload purge 3.1       Gas flow 3.2       Humidity 3.3       Inlet pressure  3.4       Outlet pressure 3.5       temperature	1.     讀取FOUP ID (RFID) 2.     Clamp 3.     Dock in (shuttle in) 4.     Vacuum on 5.     Latch open 6.     Door open 7.     Door down 8.     ------------ 以上open door 9.     Door up 10.  Door close 11.  Latch off 12.  Vacuum off 13.  Dock out (shuttle out) 14.  Clamp up 15.  Clamp backward 16.  Clamp down 17.  -----------  9-16 close door
好發FDC 之 spec	1.     Outlet pressure  2.     Gas flow	NA
好發之Alarm	NA	Command reply error 2.        Dummy replacement(宿疾) 3.        指撥開關(對照alarm表)

Load port 的位置