040. 不可不知 ｜傳送路徑，你有留意過這東西嗎？

 

notch

keywords: notch, aligner.

1. wafer 傳送路徑

答：Load port -> ATMarm -> Aligner -> Airlock -> TransferChamber -> PMx ->

        TransferChamber -> Airlock -> ATMarm -> cooling station -> Load port

example of a Waferflow 

2. notch 是什麼？

答：缺口，在wafer 上做記號，定位wafer用。

notch

3. Aligner 是什麼？

答：藉由CCD找到notch 定位後，再傳進Airlock，以保持notch在chamber 中都能在設定位置。

註:（CCD(Charge Coupled Device:電荷耦合元件)是一種類似積體電路(IC)的半導體電子元件.主要的功能可以把光轉換成電)

Aligner