039. 不可不知 ｜Airlock 的功能及相關操作

 

Keywords: ISO valve, Airlock, AL

1. Airlock是什麼功能？

答：Airlock是一個頻繁切換 「真空 及 大氣」的空間。wafer 必經路徑。

2. Airlock 怎麼變為真空狀態？

答：藉由 真空 pump 抽為真空。

3. Airlock 怎麼從真空，再變回大氣呢？

答：vent valve , Airlock 灌入 N2 （氮氣），使之回到大氣壓。

4. 上圖這個零件是什麼？

答：Airlock ISO valve. 中文是「隔離閥」

5. Airlock ISO valve 功能是什麼？？

答：隔離閥，控制一個通道 「開」或「關」的狀態。

        Airlock是一個頻繁切換 「真空 及 大氣」的空間，ISO valve 開，Airlock pump down.

註：pump down: 一個空間，藉由真空pump 抽為真空。

帶著這些觀念來看以下的圖：

Airlock P&ID圖

總結Airlock 的組成要件

1. 大氣側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在ATM側。

2. ISO valve：有分細抽(slow pump)、粗抽(rough pump)；一端接Airlock，一端接到DPM。

3. pump 鍵：控制 ISO 開啟，使Airlock 狀態變為真空。

4. 真空側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在VTM側。

5. vent 鍵：控制 vent valve 開啟，使Airlock 狀態變為大氣。

6. vent valve：有分細抽(slow vent)、粗抽(vent) ，差別在氣量大小，使用氣體為N2（氮）。

7. Equalization valve：當AL vent 到大氣後，藉由這閥件開啟，來平衡 Airlock 與大氣壓力。

8. Hasting gauge：Airlock 的壓力錶，偵測壓力用來回報Airlock 的狀態。

 3個閥件：equalization valve, slow vent, vent valve