EP023 purge LP與LP(Load port)差別

 

Load port

purge LP與LP(Load port)差別??

keywords: purge LP,

項目	Purge LP	LP
全名稱	Purge Load port	Load port
製造商	Local vendor（）	TDK （）
功能	降低FOUP內部濕度	1.     讀取FOUP ID 2.     開關FOUP
機台位置	LP蓋板前那片結構	3F機台前方FOUP 放置區
基本作動	1        Load purge 1.1       Gas flow 1.2       Humidity 1.3       Inlet pressure  1.4       Outlet pressure 1.5       Temperature 2        Continue purge  2.1       Gas flow 2.2       Humidity 2.3       Inlet pressure  2.4       Outlet pressure 2.5       temperature 3        Unload purge 3.1       Gas flow 3.2       Humidity 3.3       Inlet pressure  3.4       Outlet pressure 3.5       temperature	1.     讀取FOUP ID (RFID) 2.     Clamp 3.     Dock in (shuttle in) 4.     Vacuum on 5.     Latch open 6.     Door open 7.     Door down 8.     ------------ 以上open door 9.     Door up 10.  Door close 11.  Latch off 12.  Vacuum off 13.  Dock out (shuttle out) 14.  Clamp up 15.  Clamp backward 16.  Clamp down 17.  -----------  9-16 close door
好發FDC 之 spec	1.     Outlet pressure  2.     Gas flow	NA
好發之Alarm	NA	Command reply error 2.        Dummy replacement(宿疾) 3.        指撥開關(對照alarm表)

Load port 的位置