051. 不可不知｜機台溫度系統（LTC, Lam Temperature Control）

 

圖解溫度控制

keyword: #溫度。#temperature. # LTC

1. 溫度控制是怎麼作動的？

答：作動概念

1.若溫度計低於設定值，控制器增加輸出，使heater 增加加熱程度。

2.若溫度計低於設定值，控制器減少輸出，使heater 減少加熱程度。

2. Heater 是怎麼作動的？

答：加熱器通常是個”電阻”，

交流電流通過，就會產生熱；

Heater 由220V 電源來驅動 (110V+110V)，

電源接頭有三個洞，

1個接地，

1個110V經過 breaker，固定110V

1個110V經過 SSR，而SSR由LTC 控制開關，

電壓隨 output value 變大或變小。

TCR 加熱實例

3. Lam 機台有哪些溫度？

答：1.TCP Window

2.TCR: Temperature control ring

3.ESC temp

1) Inner  2) Mid inner  3) Mid outer  4) Outer

4.Heater channel

1) Front right  2) Front left  3) Rear left  4) Rear right

5) Throttle temp  6)Bias housing

5.Gas line heater 

6.Turbo heater

7.FI heater

8.Airlock heater pad

050. 重點貴森森的零件｜ESC｜E-chuck

 

Coulombic ESC 

ESC 構造

BiPolar ESC

e-chuck（靜電吸盤）是一種用於半導體製造和其他精密製造過程的關鍵設備。它是一種具有自動控制功能的裝置，用於保持和固定半導體晶圓或其他微細零件，以便在製造過程中進行加工、測試和檢驗。

e-chuck的主要功能包括：

1. 1. 溫度控制：e-chuck能夠精確控制晶圓或零件的溫度，這在半導體製造中非常關鍵，因為溫度變化可能會影響材料的性能和製程的穩定性。

   
   

2. 2. 固定和定位：e-chuck能夠可靠地固定和定位晶圓或零件，以確保精確的加工和測試。這有助於提高製造過程的精度和效率。

總之，e-chuck在半導體和微細加工領域中扮演著關鍵角色，它通過控制溫度、固定零件和提供特殊的環境條件，有助於確保高質量的製造過程。

ESC type

ESC 學問好深

各種型號的ESC，當然有不同的規格.

能搞懂機台所使用的ESC model 最好，

不懂的話，至少要知道兩個參數。

ESC model

至少要知道的兩個參數

註： VCI sensor:

1. The voltage transducer (VCI) is used to measure the lower electrode DC voltage.

049. 不可不知｜功率篇（Power）

電漿蝕刻（Plasma Etching）是一種利用電漿來蝕刻材料的製程。在這個過程中，使用功率將氣體變成電漿，這個電漿中包含了電子、正離子、和中性粒子。這種高能的電漿被用來刻蝕材料表面，使其發生化學或物理變化，進而達到刻蝕的效果。以下是

TCP match

keywords: match, cap, TCP, Bias, power

Power （功率）

	1主動 （設定值）	2被動 （控制量）	備註
功率控制	Bias voltage	Bias forward power	因機台bias voltage mode
功率控制	bias voltage	Series cap position Shunt cap position	power
功率控制	TCP forward power	C1/C3 Cap position	power
功率控制	TCCT	C4/C5 Cap position	power

1. Kiyo 關於功率的哪兩個迴路？

答：TCP and Bias.

2. TCP generator 有什麼SVID（會變化參數）？

答：1)TCP RF forward power 

        2)TCP RF reflected power

3. Bias generator 有什麼SVID（會變化參數）？

答：1)Bias RF forward power 

        2)Bias RF reflected power

4. TCP Match 有什麼SVID（會變化參數）？

答：1)C1 cap(電容） 

        2)C3 cap(電容）

        3)C4 cap(電容）

        4)C5 cap(電容）

        5)TCCT： inner current/outer current. 調整coil 內外圈的比例。

5. TCP reflected power 偏高，要檢查迴路的哪部份？

答：1） C1/C3 

        2）sensor box (power cable 接進match 的地方）

6. TCCT 怎麼調整比例，若有問題可檢查哪裡？

答：1）C4/C5

7. Bias Match 有什麼SVID（會變化參數）？

答：1)Series cap(電容） 

        2)Shunt cap(電容）

  

8. Match有何功用？

答：匹配 power.  Ideal Power  = Forward power + Reflected power 

        match 透過電容調節，降低Reflected power。

UI 上關於Power的相關零件

UI / TCP&BIAS loop 放大看

TCP Match / Bias Match 位置

048. 不可不知｜壓力計 manometer

 

有什麼差別？

上述提到的manometer gauge vs. pressure gauge 有什麼差別?

中文雖然都叫壓力錶，現在我終於懂差別了。

壓力有分「相對壓力」及「絕對壓力」。

還沒看過壓力的可以回顧之前文章   EP020. 兩張圖帶你看懂「壓力」

manometer gauge是絕對壓力錶，故底壓是 0，這環境是真空，近乎於什麼都沒有。

有點空氣分子進來環境中，壓力就會上升，ex. 5mTorr, 10mTorr (1大氣壓760,000mTorr)

Pressure gauge是相對壓力錶，環境為1大氣壓，壓力錶 0，表示環境壓力為1大氣壓。

例如：壓縮空氣壓力 7 kg/cm2, 或胎壓 40psi。

keywords: manometer, CM1,CM2,CM3, hasting gauge

這些概念簡單，卻實用，

看了就懂，可以應用在工作中的小知識。

壓力量測篇：

這裡要說明的是量測壓力的器具，

不是人們「心理的壓力」（目前還沒發明出來）

需是環境中「真實的壓力」。

以下介紹各壓力量測的器具名稱及功能：

CM1

功能：量測 chamber 內部壓力

量測範圍： 0 -100 mTorr

原理：膜片電容式

CM1 process manometer

CM2

功能：量測 chamber 內部壓力

量測範圍： 0 - 10 Torr

Interlock 設定：S1:0.5V.    S2:0.1V

為何設定interlock？當chamber 壓力<100mT，使用CM1回報UI

CM2 chamber manometer

CM3

功能：量測 foreline 內部壓力

量測範圍： 0 - 10 Torr

Interlock 設定：S1: 1V.

為何設定interlock？當foreline 壓力>1000mT，PV 關起來， 

                                     防止管路髒東西 回灌chamber

CM3 Foreline manometer

TM pressure gauge

功能：量測 VTM/Airlock 內部壓力

量測範圍： 0 – 999,000 mTorr (1000Torr)

Airlock pump 壓力讀值:    90 mTorr

Airlock vent  壓力讀值: 73x,xxxx mTorr

Airlock hasting gauge

047. 不可不知｜TDK Load port 正常動作順序

要瞭解「作動原理」，才能「一一釐清問題」 

如何弄懂原理？

平常就需要觀察學習，

學習機器的每個零件名稱，功能，作動方式，

觀察他正常作動的狀況，

當機器異常時，才有敏銳度去找出問題。

TAS300

keywords: LP, load port

Load port 常見的 alarm 為 command reply error.

就是Load port 作動到某一步驟時，沒有收到正確的位置訊號，

因而 alarm. 

此時會到現場，用指撥開關判斷是卡在哪一步驟，

有一對照表。

以下為FOUP 在Load port 上的動作順序

1.     讀取FOUP ID (RFID)

2.     Clamp

3.     Dock in (shuttle in)

4.     Vacuum on

5.     Latch open

6.     Door open

7.     Door down

8.     ------------ 以上open door

9.     Door up

10.  Door close

11.  Latch off

12.  Vacuum off

13.  Dock out (shuttle out)

14.  Clamp up

15.  Clamp backward

16.  Clamp down

-----------  9-16 Close door

046. Generator overtemp_過熱｜coolant flow switch is not sense

 

Generator

事件過程：

這個 issue 顯示 bias coolant flow switch is not sensed. 

同事換了許多相關的零件，

問題還是沒解。

指派給我去處理時，發現現象不一樣，

變成TCP coolant flow switch is not sensed. 進而帶出 TCP over-temp alarm.

這一題問題描述：要先解決 TCP coolant flow switch is not sensed.

問題定義，再來要瞭解「作動原理」，一一釐清問題

1. Generator 作動，是誰給出「啟動冷卻水的訊號」呢？ -> Generator本身

2. Generator 訊號給去哪？ -> EV bank

3. 系統怎麼知道「水有在流動」呢？ -> Flow switch 藉由 node 1 回傳訊號給UI 

TCP/Bias cooling 原理

4. TCP coolant flow is not sensed 怎麼測試？

答：EV bank 上，可以手動給氣開通水閥，水路是會作動的。

5. 怎麼測試 TCP generator 作動時，是否有給水？

答：打WAC 讓 TCP generator 作動，觀察水路，此時沒給水。

        因此TCP generator over-temp alarm.

處理方法：

測試後，發現 TCP generator 並沒有送出訊號給EV bank，

因此 找另一台機台，互換 TCP generator 澄清，現象轉移

更換後，WAC 就可以順利打完，問題解了 ----這就是工作上一項小小的成就感

正當開心時，繼續測試到 bias 時，發生一模一樣的狀況，

再換 bias generator，問題根解了。

Lesson learn：

原本就bias generator  的問題，延伸出 TCP generator 也有問題

「懂原理」就能依邏輯推理依序測試處理。

如何弄懂原理？

平常就需要觀察學習，

學習機器的每個零件名稱，功能，作動方式，

觀察他正常作動的狀況，

當機器異常時，才有敏銳度去找出問題。