042. Gasbox內的氣體流不出來，怎麼故障排除處理？

 

keywords: MFC, FIB, 壓力, transducer

緣由：機台chamber 流不出氣體，人員到現場去檢查手閥有開，但還是沒有氣體，

            建議要更換gas box mother board.

我的思考邏輯：

1.  MFC 流不出氣體， 先確認單一管還是全部。

2. 確認其他管有氣體，因此判斷不會是 gasbox mother board.

3. 確認流不出氣體的MFC transducer 的讀值，-14.7psi, 代表無氣體壓力。

4. 如圖，Transducer表示管路壓力，此為"相對壓力錶"

5. transducer -14.7psi 表示管路為真空，管路內沒有壓力。

6. 源頭確認，FIB（Facility interface box, 廠務來源）手閥沒開。

7. 並不是源頭沒開就直接開啟，藉由抽光到FIB手閥這段管路，並確認漏率合格，才能開啟。

8. Transducer > -14.7，來到40psi，表示氣體進來了，MFC flow 正常作動了。

 

還是不懂，可以再回顧壓力的物理意義：

網誌連結：壓力物理意義