025. FDC 機台監控系統基本概念

 

keywords：U，T，longterm

定義 U chart，功用。

  什麼是U chart? 計算chart, 可以設定Mean（平均值）、Range（最大值 --最小值），SLOP（後值—前值），依據物理特性可設定規格的上下限，當機台表現超過spec 的上限或下限，就會trigger alarm. 機台會pause, WEQ, 等狀況，就必須停機檢查。這部份建議先從T chart 認識起。

定義 T chart，功用。

         什麼是T chart，T = time 時間，我們希望機台能記錄wafer process時，所有重要感知器當下的狀態，例如一個溫度感知器，當chamber process時，要記錄一個溫度，假設recipe 有5個步驟，這 process recipe 歷經T5秒，如下圖，每條橫線代表每個process 該感知器回報的溫度變化，大約在60度，3條代表3個process，就是T chart。

 

T chart 溫度感知器

 

當chamber process時，要記錄一個壓力變化，假設recipe 有5個步驟，這 process recipe 歷經T5秒，如下圖，每條橫線代表每個process 該感知器回報的壓力變化，step1-2壓力設定在2mT，step3-4-5壓力設定在6mT，就同樣是T chart。

 

T chart 壓力感知器

 

 

 

 T chart 與 U chart 什麼關係

         左圖為T chart，右圖為 U chart，以mean為例，T chart 上的每條線的平均值，會變為U chart 上的一個點，綠色的線在U chat 上變成 data1，橙色線為U chart 上data2，藍色線為U chart 上data 3，紅色線為U chart 上的data4.

 

         設定上下限規格，是一門學問，在這先不探討，先讓新人有初步的認知，瞭解到chart 的由來與用意，以下為圖片說明：

1. U chart UCL （spec 上限）
2. U chart LCL （spec 下限）
3. Data1, data2, data3 符合規格
4. Data4, 超出規格。停機檢查。

 

T chart 與 U chart 什麼關係

練習使用 Long term 趨勢分析。

         Fastkey，這是舊系統用來撈長期U chart 的系統，新系統在ECP -> U chart new，使用方法近似於PCA，可以撈一週，一個月，甚至是一年的U chart data.

         偶爾會有老人提起fastkey 這字眼，指的就是長期U char的趨勢。