027. ESC temp calibration with on wafer

 

on wafer 65點溫度計，高級溫度計

Reference: 202-050072-205

keywords: on wafer, ESC cal

概念摘要

1. on wafer 是什麼？

答：溫度計，wafer 上有65個溫度計，用來偵測ESC表面各個位置的溫度。

2. ESC為何需要校正？

答：4 zone ESC，有4個偵測溫度的photon sensor，但真的就準確嗎？
        因此藉由on wafer 這更精準的溫度計，校正ESC temp。

3. 校正怎麼做？

答：Cal1/Cal2/Cal3，完成校正後，再收一個duty cycle 的部份，
        確認4 zone 在40度、50度、60度、70度的 Mean (均值）及Range (最大最小落差）    

        是否符合規範。

Setting	TCU1	ESC 4 zone
Cal 1	10	20
Cal 2	10	60
Cal 3	30	60

• ●  Preparing the System

  答：check recipe 內容，calibration point 1/2/3，我把它簡化成上述的表格，
  

  以下圖為procedure 完整內容

  
  

  

  Calibration 1 setpoint

  
  
  
  
  
  

  

  Calibration 2 setpoint
  
  

  

  Calibration setpoint 3

  
  

• ●  Performing the Calibration

  答：校正的頁面，UI 操作畫面的位置，就是要在這頁面，

  用on wafer 計算出4 zone 溫度 的offset（誤差值）

  以cal 1 為例，TCU設定10度，ESC temp 設定在20度，

  on wafer 進 chamber 去收集資料，

  透過這方式，計算出4個區域的溫度，將 on wafer 的平均值

  key 進圖中的 inner, mid inner, mid outer, outer 四個區域，

  完成Cal1 校正。

  Cal 2， TCU設定10度，ESC temp 設定在60度，重覆上述動作。

  Cal 3， TCU設定30度，ESC temp 設定在60度， 重覆上述動作。

  
  

  

  UI 操作介面位置

  
  
  
  
  
  

• ●  Restoring the Previous Calibration State

  答：呼換出先前一次的校正值。

  

  原文重現

  
  
  

• ●  Resetting the Calibration Values to Zero

  答：校正前，將校正值歸零的按鍵，會跳出視窗，詢問確認要歸零。

  

  原文重現
  

  
  

• ●  Determining the ESC Zone Average Temperatures for the OnWafer Using Lam DA

  答：on wafer 65個點，怎麼區分4 zone 的資料呢？
  

  2016年前我學的時候，確實要去點選各區的點，來算平均值

  現在Lam DA 有開發出軟體可以計算，

  只要將 on wafer 的資料，另存為excel 的.csv檔案格式，丟到機台

  用軟體開啟excel 的檔案，

  完成一些基本選項設定，如：4 zone, 開始秒數/結束秒數。 

  

  Lam DA -> special knowledge -> ESC temp Calibration

  
  

  

  ESC temperature Calibration Window

  
  

   

  

  KLA on wafer result 判讀
  

  
  

  後記

  這是我在公司，第一個學會的技能，

  當被派工要收 on wafer，學長擔心我做不到時，

   我早就主動學會，說我能完成的同時，令Leader驚訝的一刻

  這大約是在2013年的事了，到現在還歷歷在目。