2023年10月18日 星期三

053.如何管理80/90世代的年輕職員?


 

今天廠商來了一個8年級的助手,我到現場作業觀察,發現有兩個手法不對,請他修正,而這年青人竟然完全不理會我的叮嚀,且沒大沒小的態度讓我決定不放過他,我打電話給他們主管,來瞭解狀況,簡單敍述:1)在工廠有工廠的規矩,想在這裡工做就要照規定走。2)方法錯了,就要問該怎麼做才對?怎麼覺得一定要用一字起子翹才能作業,這樣會傷害金屬表面,有洩漏的風險。

這個年青人一整個就是態度問題,小事不糾正,等出大事再來糾正就太晚了。

管理年輕世代的職員需要特別的方法,因為他們可能具有不同的價值觀、期望和工作風格。

以下是一些管理年輕職員的方法:

  1. 建立溝通渠道:
    • 建立開放的溝通渠道,鼓勵他們分享意見和反饋。
    • 使用多種溝通方式,包括面對面、電子郵件、即時消息和社交媒體。
  2. 提供反饋和發展機會:
    • 定期提供反饋,幫助他們了解自己的表現,同時提供成長和發展的建議。
    • 提供培訓和發展機會,幫助他們提升專業技能和職業生涯。
  3. 重視工作生活平衡:
    • 理解並尊重他們的工作生活平衡需求,鼓勵休假和休息。
    • 提供靈活的工作時間和遠程工作選擇,以滿足他們的需求。
  4. 認可和激勵:
    • 給予認可和獎勵,以表揚出色的工作表現。
    • 創建挑戰性的任務和項目,激發他們的動力。
  5. 促進多元文化和包容性:
    • 創建一個多元文化和包容的工作環境,尊重不同背景和觀點。
    • 鼓勵多樣性,並尊重每個人的價值觀和信仰。
  6. 授權和培養領導潛力:
    • 鼓勵他們參與決策過程,讓他們有參與感。
    • 提供培訓機會,幫助他們發展領導技能。
  7. 提供清晰的目標和方向:
    • 確保他們了解組織的目標和他們的角色在其中的重要性。
    • 提供清晰的工作目標,讓他們知道如何實現成功。
  8. 採納新科技和工具:
    • 提供現代工具和科技,以提高工作效率和便利性。
    • 支持他們學習和掌握新的數位工具。

總之,管理年輕世代的職員需要采取靈活、包容和具有啟發性的方法,以滿足他們的需求,促進他們的專業成長,並在組織中發揮積極作用。這樣的管理方法有助於建立積極的工作環境,吸引和保留年輕專業人才。

052.故障排除的思考邏輯|Backside Helium flow > 4sccm alarm

 

Backside Helium Loop

1. 判斷為什麼ALARM?

答:從 ALARM message 可以找到線索。Backside Helium flow > 4sccm alarm

2. 什麼是 Backside Helium flow?

答:UPC (unit pressure control),流量控制器上的讀值,flow > 4sccm.

3. 正常Flow是多少?

答:比對前一片沒有ALARM的水位,正常會< 1 sccm.

4. 有什麼原因造成 B/H alarm?

答:1)wafer 背面髒. 有PA讓 wafer 與 ESC 之間的空隙變大導致。

      2)ESC 吸不住, clamped voltage drop.

5. 怎麼判斷 wafer 背面髒?

答:看 datalog, 比對alarm wafer 與前一片的數值,one peak嗎?

      是的話,就可以再Load 一片 CDC 去測試,看結果。


2023年9月28日 星期四

051. 不可不知|機台溫度系統(LTC, Lam Temperature Control)

 

圖解溫度控制


keyword: #溫度。#temperature. # LTC


1. 溫度控制是怎麼作動的?

答:作動概念

1.若溫度計低於設定值,控制器增加輸出,使heater 增加加熱程度。
2.若溫度計低於設定值,控制器減少輸出,使heater 減少加熱程度。


2. Heater 是怎麼作動的?

答:加熱器通常是個電阻

交流電流通過,就會產生熱;

Heater 220V 電源來驅動 (110V+110V)

電源接頭有三個洞,

1個接地,

1110V經過 breaker,固定110V

1110V經過 SSR,而SSRLTC 控制開關,

電壓隨 output value 變大或變小


TCR 加熱實例


3. Lam 機台有哪些溫度?

答:1.TCP Window

2.TCR: Temperature control ring
3.ESC temp

1) Inner  2) Mid inner  3) Mid outer  4) Outer

4.Heater channel

1) Front right  2) Front left  3) Rear left  4) Rear right

5) Throttle temp  6)Bias housing

5.Gas line heater 
6.Turbo heater
7.FI heater
8.Airlock heater pad







2023年9月27日 星期三

050. 重點貴森森的零件|ESC|E-chuck

 


Coulombic ESC 

ESC 構造

BiPolar ESC

e-chuck(靜電吸盤)是一種用於半導體製造和其他精密製造過程的關鍵設備。它是一種具有自動控制功能的裝置,用於保持和固定半導體晶圓或其他微細零件,以便在製造過程中進行加工、測試和檢驗。

e-chuck的主要功能包括:

  1. 1. 溫度控制:e-chuck能夠精確控制晶圓或零件的溫度,這在半導體製造中非常關鍵,因為溫度變化可能會影響材料的性能和製程的穩定性。


  2. 2. 固定和定位:e-chuck能夠可靠地固定和定位晶圓或零件,以確保精確的加工和測試。這有助於提高製造過程的精度和效率。

總之,e-chuck在半導體和微細加工領域中扮演著關鍵角色,它通過控制溫度、固定零件和提供特殊的環境條件,有助於確保高質量的製造過程。


ESC type


ESC 學問好深

各種型號的ESC,當然有不同的規格.

能搞懂機台所使用的ESC model 最好,

不懂的話,至少要知道兩個參數。

ESC model


至少要知道的兩個參數

註: VCI sensor:

  1. The voltage transducer (VCI) is used to measure the lower electrode DC voltage.

2023年9月26日 星期二

049. 不可不知|功率篇(Power)


電漿蝕刻(Plasma Etching)是一種利用電漿來蝕刻材料的製程。在這個過程中,使用功率將氣體變成電漿,這個電漿中包含了電子、正離子、和中性粒子。這種高能的電漿被用來刻蝕材料表面,使其發生化學或物理變化,進而達到刻蝕的效果。以下是



TCP match

keywords: match, cap, TCP, Bias, power


Power (功率)

1主動 (設定值)

2被動 (控制量)

備註

功率控制

Bias voltage

Bias forward power

因機台bias voltage mode

功率控制

bias voltage

Series cap position

Shunt cap position

power

功率控制

TCP forward power

C1/C3 Cap position

power

功率控制

TCCT

C4/C5 Cap position

power


1. Kiyo 關於功率的哪兩個迴路?
答:TCP and Bias.

2. TCP generator 有什麼SVID(會變化參數)?
答:1)TCP RF forward power 
        2)TCP RF reflected power

3. Bias generator 有什麼SVID(會變化參數)?
答:1)Bias RF forward power 
        2)Bias RF reflected power

4. TCP Match 有什麼SVID(會變化參數)?
答:1)C1 cap(電容) 
        2)C3 cap(電容)
        3)C4 cap(電容)
        4)C5 cap(電容)
        5)TCCT: inner current/outer current. 調整coil 內外圈的比例。

5. TCP reflected power 偏高,要檢查迴路的哪部份?
答:1) C1/C3 
        2)sensor box (power cable 接進match 的地方)

6. TCCT 怎麼調整比例,若有問題可檢查哪裡?
答:1)C4/C5

7. Bias Match 有什麼SVID(會變化參數)?
答:1)Series cap(電容) 
        2)Shunt cap(電容)
  
8. Match有何功用?
答:匹配 power.  Ideal Power  = Forward power + Reflected power 
        match 透過電容調節,降低Reflected power。


UI 上關於Power的相關零件


UI / TCP&BIAS loop 放大看




TCP Match / Bias Match 位置






2023年9月9日 星期六

048. 不可不知|壓力計 manometer

 

有什麼差別?


上述提到的manometer gauge vs. pressure gauge 有什麼差別?

中文雖然都叫壓力錶,現在我終於懂差別了。

壓力有分「相對壓力」及「絕對壓力」。

還沒看過壓力的可以回顧之前文章   EP020. 兩張圖帶你看懂「壓力」


manometer gauge是絕對壓力錶,故底壓是 0,這環境是真空,近乎於什麼都沒有。

有點空氣分子進來環境中,壓力就會上升,ex. 5mTorr, 10mTorr (1大氣壓760,000mTorr)

Pressure gauge是相對壓力錶,環境為1大氣壓,壓力錶 0,表示環境壓力為1大氣壓。

例如:壓縮空氣壓力 7 kg/cm2, 或胎壓 40psi。


keywords: manometer, CM1,CM2,CM3, hasting gauge


這些概念簡單,卻實用,

看了就懂,可以應用在工作中的小知識。


壓力量測篇:

這裡要說明的是量測壓力的器具,

不是人們「心理的壓力」(目前還沒發明出來)

需是環境中「真實的壓力」。


以下介紹各壓力量測的器具名稱及功能:


CM1

功能:量測 chamber 內部壓力

量測範圍: 0 -100 mTorr

原理:膜片電容式

CM1 process manometer



CM2

功能:量測 chamber 內部壓力

量測範圍: 0 - 10 Torr

Interlock 設定:S1:0.5V.    S2:0.1V

為何設定interlockchamber 壓力<100mT,使用CM1回報UI


CM2 chamber manometer
CM3

功能:量測 foreline 內部壓力

量測範圍: 0 - 10 Torr

Interlock 設定:S1: 1V.

為何設定interlockforeline 壓力>1000mTPV 關起來, 

                                     防止管路髒東西 回灌chamber



CM3 Foreline manometer



TM pressure gauge

功能:量測 VTM/Airlock 內部壓力

量測範圍: 0 – 999,000 mTorr (1000Torr)

Airlock pump 壓力讀值   90 mTorr

Airlock vent  壓力讀值73x,xxxx mTorr


Airlock hasting gauge









047. 不可不知|TDK Load port 正常動作順序

要瞭解「作動原理」,才能「一一釐清問題」 

如何弄懂原理?

平常就需要觀察學習,

學習機器的每個零件名稱,功能,作動方式,

觀察他正常作動的狀況,

當機器異常時,才有敏銳度去找出問題。


TAS300


keywords: LP, load port


Load port 常見的 alarm 為 command reply error.

就是Load port 作動到某一步驟時,沒有收到正確的位置訊號,

因而 alarm. 

此時會到現場,用指撥開關判斷是卡在哪一步驟,

有一對照表。


以下為FOUP 在Load port 上的動作順序

1.     讀取FOUP ID (RFID)

2.     Clamp

3.     Dock in (shuttle in)

4.     Vacuum on

5.     Latch open

6.     Door open

7.     Door down

8.     ------------ 以上open door

9.     Door up

10.  Door close

11.  Latch off

12.  Vacuum off

13.  Dock out (shuttle out)

14.  Clamp up

15.  Clamp backward

16.  Clamp down

-----------  9-16 Close door





2023年9月8日 星期五

046. Generator overtemp_過熱|coolant flow switch is not sense

 

Generator

事件過程:

這個 issue 顯示 bias coolant flow switch is not sensed. 

同事換了許多相關的零件,

問題還是沒解。

指派給我去處理時,發現現象不一樣,

變成TCP coolant flow switch is not sensed. 進而帶出 TCP over-temp alarm.

這一題問題描述:要先解決 TCP coolant flow switch is not sensed.


問題定義,再來要瞭解「作動原理」,一一釐清問題

1. Generator 作動,是誰給出「啟動冷卻水的訊號」呢? -> Generator本身
2. Generator 訊號給去哪? -> EV bank
3. 系統怎麼知道「水有在流動」呢? -> Flow switch 藉由 node 1 回傳訊號給UI 
TCP/Bias cooling 原理


4. TCP coolant flow is not sensed 怎麼測試?

答:EV bank 上,可以手動給氣開通水閥,水路是會作動的。


5. 怎麼測試 TCP generator 作動時,是否有給水?

答:打WAC 讓 TCP generator 作動,觀察水路,此時沒給水

        因此TCP generator over-temp alarm.


處理方法:

測試後,發現 TCP generator 並沒有送出訊號給EV bank,

因此 找另一台機台,互換 TCP generator 澄清,現象轉移

更換後,WAC 就可以順利打完,問題解了 ----這就是工作上一項小小的成就感

正當開心時,繼續測試到 bias 時,發生一模一樣的狀況,

再換 bias generator,問題根解了。


Lesson learn:

原本就bias generator  的問題,延伸出 TCP generator 也有問題

「懂原理」就能依邏輯推理依序測試處理

如何弄懂原理?

平常就需要觀察學習,

學習機器的每個零件名稱,功能,作動方式,

觀察他正常作動的狀況,

當機器異常時,才有敏銳度去找出問題。


2023年8月30日 星期三

045. 如何判斷SSR已被擊穿,壞了??

Heater如何加熱

 1. SSR 是什麼?

答:Relay,繼電器,控制電路"開"或"關"。

2. Heater 怎麼加熱?

答:加熱器通常是個電阻
交流電流通過,就會產生熱;
Heater 220V 電源來驅動 (110V+110V)
電源接頭有三個洞,
1個接地,
1110V經過 breaker,固定110V
1110V經過 SSR,而SSRLTC 控制開關,
電壓隨 output value 變大或變小

3. Heater是否加熱,舉例:

設定值

實際值

LTC output

Heater 狀態

120度

60

1% -> 90 %

輸出加熱

30

60

0%

不加熱


4. 如何判斷SSR已被擊穿,壞了??

答:根據上述理論,當設定值達到120,output value 會降低,但不會是0%
若設定值達到120,output value 也為0%(應該「不輸出」),實際溫度卻到130度
表示SSR被擊穿,沒在控制,仍持續輸出加熱(持續導通,無法關



044. 氣體壓力|有三種氣體的壓力和別人不一樣

 

transducer 參考"相對壓力"


進一步來探討氣體壓力:

Transducer在機台的位置

各種氣體,來源壓力大部份都在40psi.

唯獨三種比較特別,參閱下表

氣體來源端壓力(psi)備註
SiCl4-11.5低壓氣體,並非負壓。
C4F66 
SO220 
Others40例:O2,Cl2,He….
大氣壓力14.7