2023年8月30日星期三

045. 如何判斷SSR已被擊穿，壞了？？

Heater如何加熱

1. SSR 是什麼？

答：Relay，繼電器，控制電路"開"或"關"。

2. Heater 怎麼加熱？

答：加熱器通常是個”電阻”，
交流電流通過，就會產生熱；
Heater 由220V 電源來驅動 (110V+110V)，
電源接頭有三個洞，
1個接地，
1個110V經過 breaker，固定110V
1個110V經過 SSR，而SSR由LTC 控制開關，
電壓隨 output value 變大或變小。

3. Heater是否加熱，舉例：

設定值	實際值	LTC output	Heater 狀態
120度	60度	1% -> 90 %	輸出加熱
30度	60度	0%	不加熱

4. 如何判斷SSR已被擊穿，壞了？？

答：根據上述理論，當設定值達到120，output value 會降低，但不會是0%

若設定值達到120，output value 也為0%（應該「不輸出」），實際溫度卻到130度

表示SSR被擊穿，沒在控制，仍持續輸出加熱（持續導通，無法關）。

044. 氣體壓力｜有三種氣體的壓力和別人不一樣

transducer 參考"相對壓力"

進一步來探討氣體壓力：

Transducer在機台的位置

各種氣體，來源壓力大部份都在40psi.

唯獨三種比較特別，參閱下表

氣體	來源端壓力（psi）	備註
SiCl4	-11.5	低壓氣體，並非負壓。
C4F6	6
SO2	20
Others	40	例：O2,Cl2,He….
大氣壓力	14.7

2023年8月24日星期四

1. 怎麼判斷 TCR, TCW 加熱器的好壞？

答：量電阻。

2. 若加熱器有電阻是好的，卻不會加熱，怎麼處理？

答：量電壓。

實際怎麼操作？

1. 三用電錶的功能及使用。

答：三用電錶可以同時測量電壓、電流和電阻來進行電子維修、測試和檢測等工作

常用的為 1)交流電壓檔 2)電阻歐姆檔

2. 量電阻的操作案例

答：使用電阻歐姆檔。說明如下圖。

電阻歐姆檔

3. 量電壓的操作案例。

答：使用交流電壓檔。說明如下圖。

交流電壓檔

2023年8月22日星期二

042. Gasbox內的氣體流不出來，怎麼故障排除處理？

keywords: MFC, FIB, 壓力, transducer

緣由：機台chamber 流不出氣體，人員到現場去檢查手閥有開，但還是沒有氣體，

建議要更換gas box mother board.

我的思考邏輯：

1. MFC 流不出氣體，先確認單一管還是全部。

2. 確認其他管有氣體，因此判斷不會是 gasbox mother board.

3. 確認流不出氣體的MFC transducer 的讀值，-14.7psi, 代表無氣體壓力。

4. 如圖，Transducer表示管路壓力，此為"相對壓力錶"

5. transducer -14.7psi 表示管路為真空，管路內沒有壓力。

6. 源頭確認，FIB（Facility interface box, 廠務來源）手閥沒開。

7. 並不是源頭沒開就直接開啟，藉由抽光到FIB手閥這段管路，並確認漏率合格，才能開啟。

8. Transducer > -14.7，來到40psi，表示氣體進來了，MFC flow 正常作動了。

還是不懂，可以再回顧壓力的物理意義：

網誌連結：壓力物理意義

2023年8月18日星期五

041. 培養解決問題能力，開展人生無限可能

keyword: 問題，思考邏輯，故障排除

工作中，遇到不會的、不熟悉的狀況，當然就會花很多時間去思考，

甚至花了很多時間也想不出什麼結果，

我來分享一些關於我對機台故障排除的思考邏輯，以及如何學習故障排除。

熟悉問題v.s. 陌生問題

世界經濟論壇列出21世紀最重要的10項工作能力，

其中最重要的就是「解決複雜問題的能力」。

解決問題的能力分為兩種，一是解決熟悉問題，另一是解決陌生問題。

熟悉問題是被前人解決過很多次的問題，有標準的相應步驟，可透過教育訓練學習。

例如更換CM1、CM2，ESC power supply，MFC... 等零件更換，

甚至ATM robot, VTM robot 校正等，這些都有標準訓練（SOP），照著做就可以完成。

而陌生問題則是前人並沒有真正成功解決過的問題。

它沒有一個穩定、可靠的解決方法，頂多是過去可能解決過類似事件，

然後將這些成敗經驗整理成目前的最佳解，

可能可以讓成功機會大一點，但並不能保證成功。

也就是說，現在的最佳作法大概能提供50%答案，其他50%尚待摸索、研究。

大部份的故障排除，都是個陌生問題。例如TCW over-temp alarm、AL1 door keep open and cannot close、Deliver switch is not at vacuum……等，這些都屬於陌生問題，

因此需要有一套思考邏輯，來幫助思考解決問題。

解決問題的「CTPS」步驟

台大教授李聖珉構想將「如何教導解決陌生問題」當成一個問題來解決

註：（Critical Thinking and Problem Solving，簡稱CTPS）

這個「解決問題理論與實務」課程的核心概念，

主要教導學生解決問題的步驟，學生必須做到

「界定問題、發展選項、快篩慢選、驗證效能、說服決策者、落地實現」這六項，

才算是真正解決問題。

有興趣的可以觀看大愛人文講堂的內容

精華版 https://youtu.be/jJ7K1dSLcyQ

完整版 https://youtu.be/uUi3RLd-h1w

實例應用

1. 界定問題：

先把問題弄懂，為什麼發生alarm，
Lam 的機台會把 alarm 的原因清楚描述出來。

2. 發展選項

先看以前有沒發生過？
Alarm 發生的頻率、次數？
該迴路相關零件的表現
Benchmark，好壞比較（好的機台表現 vs 壞的機台表現，group compare）

3.快篩慢選

選出可行的行動方案

4. 說服決策者

在想辦法解決問題時，就思考怎麼說服： data talk. 但用什麼data?
尤其是需要花錢時，data talk.

5. 驗證效能

找出眼睛，驗證效能的方法，data talk.
6. 落地實現

確實把故障排除，使機器恢復正常運作。

2023年8月9日星期三

1. wafer 傳送路徑

答：Load port -> ATMarm -> Aligner -> Airlock -> TransferChamber -> PMx ->

TransferChamber -> Airlock -> ATMarm -> cooling station -> Load port

example of a Waferflow

2. notch 是什麼？

答：缺口，在wafer 上做記號，定位wafer用。

notch

3. Aligner 是什麼？

答：藉由CCD找到notch 定位後，再傳進Airlock，以保持notch在chamber 中都能在設定位置。

註:（CCD(Charge Coupled Device:電荷耦合元件)是一種類似積體電路(IC)的半導體電子元件.主要的功能可以把光轉換成電)

Aligner

2023年8月6日星期日

1. Airlock是什麼功能？

答：Airlock是一個頻繁切換「真空及大氣」的空間。wafer 必經路徑。

2. Airlock 怎麼變為真空狀態？

答：藉由真空 pump 抽為真空。

3. Airlock 怎麼從真空，再變回大氣呢？

答：vent valve , Airlock 灌入 N2 （氮氣），使之回到大氣壓。

4. 上圖這個零件是什麼？

答：Airlock ISO valve. 中文是「隔離閥」

5. Airlock ISO valve 功能是什麼？？

答：隔離閥，控制一個通道「開」或「關」的狀態。

Airlock是一個頻繁切換「真空及大氣」的空間，ISO valve 開，Airlock pump down.

註：pump down: 一個空間，藉由真空pump 抽為真空。

帶著這些觀念來看以下的圖：

Airlock P&ID圖

總結Airlock 的組成要件

1. 大氣側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在ATM側。

2. ISO valve：有分細抽(slow pump)、粗抽(rough pump)；一端接Airlock，一端接到DPM。

3. pump 鍵：控制 ISO 開啟，使Airlock 狀態變為真空。

4. 真空側的門板：用氣壓控制「開」、「關」，在VTM側。

5. vent 鍵：控制 vent valve 開啟，使Airlock 狀態變為大氣。

6. vent valve：有分細抽(slow vent)、粗抽(vent) ，差別在氣量大小，使用氣體為N2（氮）。

7. Equalization valve：當AL vent 到大氣後，藉由這閥件開啟，來平衡 Airlock 與大氣壓力。

8. Hasting gauge：Airlock 的壓力錶，偵測壓力用來回報Airlock 的狀態。

3個閥件：equalization valve, slow vent, vent valve

2023年8月2日星期三

038. 機台漏水怎麼防範 | Leak sensor | 緊急救援

Keywords: 機台漏水怎麼防範 | Leak sensor, water leak alarm,

1. 機台漏水怎麼防範?

Ans：The leak detector resides in the water drip pan which houses the water manifolds. The pan sits beneath the turbo pump above the turbo molecular pump(TMP) controller. If water is detected in the pan, an alarm will appear indicating that there is a leak, and the main water control valve will close.

答：Leak sensor 位於裝有水接頭的承漏盤中。該盤位於turbo controller (TMP) 上方, turbo pump下方。如果檢測到承漏盤內有水，則會出現洩漏警報（water leak alarm)，並且主水閥將關閉。

註：主水閥有兩種控制開關的方式：1）氣動，給訊號開。

2）手動閥：手動閥關，就關了，不論氣動是開或關。

2. 機台發報 water leak 怎麼處理？

答：1）先回報緊急應變中心，若是機台troubleshooting，就回報troubleshooting，確認中。

若機台沒有動作卻發報漏水，第一時間到現場確認狀況。

2）關主水閥，避免災情再擴大。

3. 機台有幾處 leak sensor.

答： 1）主水閥進水處承漏盤。

2）generator cart / generator 水接頭處。

3）Bias match （側蓋板打開）

4）Turbo pump 承漏盤

PS. 當主水閥開，流經 bias match 的水是一直循環不停的，故 bias match flow 應該一直sensed。

Bias match 內部水路

2023年8月1日星期二

037. 什麼是FFU ？？

keywords: FFU. Fan Filter

Reference：202-080998-001, Rev. F Setting Up and Calibrating the Fan Filter Unit

1. 什麼是FFU ？？

答： Fan Filter Unit

2. 在機台哪裡？

答：FI 內，ATM robot 上方，如圖。

Location of FFU

3. FFU 功能是什麼？

答：過濾空氣，並為持 FI 內為正壓，避免髒空氣進入。

4. 怎麼偵測 FFU 是否正常動作？

答：FFU有風扇轉速，3LP 設定在2200rpm（控制器刻度在8.5），4LP設定大約1520rpm。

另外，在FFU controller 內有兩個壓力開關（pressure sensor)，當內部壓力變低

就會 trigger 機台alarm，迅速把FOUP門關起來，保護 wafer。

5. 怎麼調校FFU？

1）Locate the fan speed adjustment knob located on the right side of the FFU.

2）For the 3LPM system, set the speed control knob on the FFU to 8.5 and set the switch to the manual position. With the knob set at this position, the average airflow velocity is approximately 80 fpm at the upper boundary of the mini-environment, and approximately 60 fpm at the lower boundary of the mini-environment. See Figure 3 and Figure 4 for mini-environment details.

PS. fpm = ft/min

3）For the 3LPM system, verify that the adjustable louver is set to 50 percent open. See Figure 2. If it is not, perform the next step.

4）Loosen the 6 screws that hold the adjustable louver in place. Adjust all the bottom vents to 50 percent slot open. Tighten the screws after you make the adjustment.

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2023年8月30日 星期三