1. 名詞解釋： 率是指以每單位時間之某物來量度另一某物（或事）之大小、數量或程度
2. 漏率單位：mTorr/min. (1分鐘壓力的變化量（CM1讀值變化量)
3. mTorr 是壓力單位，由「CM1」讀取數值。
4. 按Leakback，可得Chamber漏率，機台怎麼動作自動算出漏率呢？
4.1 Pump down 5min
4.2 Pendulmn valve close
4.3 Stablize 30s
4.4 計算CM1 變化量，壓力上升多少mT (120s)
5. 有哪些漏率及規格？
5.1 Chamber 漏率：1 mT/min.
5.2 Primary vale 漏率：0.1 mT/min.
5.3 Second valve 漏率：0.1mT/min.
1.1 透過LP上的 tag reader (標籤讀取器，LP上一個天線棒＋讀取器在LP cover內，tLP 翻開可看到另一黑盒子) 回傳給電腦，這是RFID技術應用。
RFID：無線射頻辨識（英語：Radio-frequency identification，縮寫：RFID）是一種無線通訊技術，可以通過無線電訊號識別特定目標並讀寫相關數據。（維基百科可以看到更詳細的介紹。）
1.2 如何處理 tag reader error?
1.2.1 確場確認FOUP status (FOUP 在LP上，無clamped
1.2.2 Maintain page “Initial tag” for error.
1.2.3 Alarm page. “recover alarm”
1.2.4 打開LP上的黑盒檢查天線棒（Antenna）是否脫落。
1.2.5 打開LP cover, 檢查 tag reader 黑盒子是否脫落。
1.2.6 抱走FOUP到Stoker。
1.2.7 借FOUP測試FOUP ID 讀取。
1.2.8 LP 切換成manual mode. FOUP 放上LP，Siview即可讀到FOUP ID表示正常。
1 流程部份
1.1 EEM/ 高風險作業申請
1.2 機台端作業
1.3 ERC 借工具
1.4 備零件, gasket, 工具包（扭力扳手，公制3號）
1.5 約ERC 預約現場更換時間。
2 機台端作業
2.1 關gas box 手閥
2.2 Chamber LR
2.3 Primary LR (3-2 LR 要小於 0.1mT/min), LR test time is 300s.
2.4 Pump purge 240 times（機台預設120次，要purge兩輪）
3 ERC借工具
3.1 SCBA
3.2 紅臂章
3.3 Gas detector （告知欲更換的氣體）
3.4 直播錄影機
4 現場動作
4.1 更換前
4.1.1 LOTO ＋ 鎖 ＋ 告示牌
4.1.2 待拆標籤
4.1.3 CV 管
4.1.4 ERC 確認項目
4.1.5 Gasline LR < 0.1 mT/min
4.1.6 Pump purge 次數 （event log）
4.1.7 LOTO… 等作業流程
4.2 更換中
4.2.1 解離
4.2.2 留意螺絲不要掉了，且避免滑牙
4.2.3 調整MFC通訊設定（如圖）
4.2.4 上鎖順序：
4.2.4.1.1 「MFC」 鎖 ㄇ 字型。
4.2.4.1.2 閥件（ex. v187閥, 2nd valve）鎖對角。
4.2.5 上鎖磅數：25 -> 35lb/in
4.3 更換後
4.3.1 Pump purge, check
4.3.1.1 MFC flow 抽乾時沒有流量
4.3.1.2 N2充滿時，flow為全流量
4.3.2 Test LR
4.3.3 He detector 1x10^-11
4.3.4 MFC cal 10 點（spec <1%）
4.3.5 機台Mon PA/ER
4.3.6 系統PTS上機
4.3.7 系統MFC工單結案
1.1 close He source
1.2 test He loop Leakback (LR)
1.3 replace regulator
1.4 test He loop Leakback again
1.5 open source
1.6 production season check whether the problem is solved.
熟悉一樣事物，若能從大盤全面掌握，能最快進入狀況，以下圖做為入門，主要分為兩大部份
1. CX:
2. EX:
3. EXP:
4. FX:
5. FX Hydra:
6. GX
圖 Integrated Gas box
1. TCP RF Loop
1）. TCP generator
2）. TCP match
2. Bias RF Loop
1）. Bias generator
2）. Bias match
1. ESC four zone temp
l Inner
l Mid-inner
l Mid-outer
l Outer
2. Heater channel
l Bias electro housing temperature
l chamber wall Front right
l chamber wall Front left,
l chamber wall Rear right
l chamber wall Rear left.
l Throttle valve temp
3. TCW / TCR : setting 120
l CM1: process manometer
l CM2: chamber manometer
l CM3: foreline manometer
l Back side Helium pressure: UPC
l TM pressure:
l Airlock pressure: hasting gauge
