EP003.主機台 -- 科林研發

 

科林研發創立於1980年，總部位於美國加州弗利蒙市(Fremont)，1984年於那斯達克(Nasdaq)股票上市(LRCX)，連續五年名列美國《財富Fortune》雜誌前500大企業且評選為全球最受尊崇企業(World's Most Admired Companies)，《富比士》雜誌全美最佳雇主，並榮獲人權運動基金會(Human Rights Campaign Foundation)職場平等指數(Corporate Equality Index)滿分及《新聞週刊》2021最佳社會責任企業。為全球前三大半導體製程設備供應商，也是全球最大蝕刻製程設備供應商，並提供先進技術與服務給全球半導體業者，營運據點分佈在全球18個國家。

我們用到的部份

  1. Transfer module

TOP view of the tool

Lam 2300 transfer module

2. Process chamber

Optional Features for the Kiyo E Series System

• Quick clean kits

• Interconnect cables: PM peripheral kit, 50 foot (gas box, TCU, mechanical pump, EMO, LonWorks)

• Interconnect cables: PM peripheral kit, 100 foot (gas box, TCU, mechanical pump, EMO, LonWorks)

• Temperature control unit (TCU): Edwards 40/80 Plus kit (with LonWorks, 55 pounds Flourinert®, and installation kit)

• Backing Pumps

• OES Plus

• 2.0 kW TCP Continuous Plasma generator

• Extended range ESC (up to 120 degrees Celsius)

• High voltage bias pulsing (HVBP)

• 4-zone ESC

• Reverse polarity ESC power supply

• Side Tuning Gas