EP010. LP 怎麼知道FOUP ID？

 

LP 怎麼知道FOUP ID？

1.1       透過LP上的 tag reader (標籤讀取器，LP上一個天線棒＋讀取器在LP cover內，tLP 翻開可看到另一黑盒子) 回傳給電腦，這是RFID技術應用。

         

RFID：無線射頻辨識（英語：Radio-frequency identification，縮寫：RFID）是一種無線通訊技術，可以通過無線電訊號識別特定目標並讀寫相關數據。（維基百科可以看到更詳細的介紹。）

   

1.2       如何處理 tag reader error?

1.2.1  確場確認FOUP status (FOUP 在LP上，無clamped

1.2.2  Maintain page “Initial tag” for error.

1.2.3  Alarm page. “recover alarm”

1.2.4  打開LP上的黑盒檢查天線棒（Antenna）是否脫落。

1.2.5  打開LP cover, 檢查 tag reader 黑盒子是否脫落。

1.2.6  抱走FOUP到Stoker。

1.2.7  借FOUP測試FOUP ID 讀取。

1.2.8  LP 切換成manual mode. FOUP 放上LP，Siview即可讀到FOUP ID表示正常。