EP009.MFC更換流程

 

MFC更換流程

1           流程部份

1.1          EEM/ 高風險作業申請

1.2          機台端作業

1.3          ERC 借工具

1.4          備零件, gasket, 工具包（扭力扳手，公制3號）

1.5          約ERC 預約現場更換時間。

 

2           機台端作業

2.1           關gas box 手閥

2.2           Chamber LR

2.3           Primary LR (3-2 LR 要小於 0.1mT/min), LR test time is 300s. 

2.4           Pump purge 240 times（機台預設120次，要purge兩輪）

 

3           ERC借工具

3.1          SCBA

3.2          紅臂章

3.3          Gas detector （告知欲更換的氣體）

3.4          直播錄影機

 

4           現場動作

4.1          更換前

4.1.1          LOTO ＋ 鎖 ＋ 告示牌

4.1.2          待拆標籤

4.1.3          CV 管

4.1.4          ERC 確認項目

4.1.5          Gasline LR < 0.1 mT/min

4.1.6          Pump purge 次數 （event log）

4.1.7          LOTO… 等作業流程

4.2          更換中

4.2.1          解離

4.2.2          留意螺絲不要掉了，且避免滑牙

4.2.3          調整MFC通訊設定（如圖）

4.2.4          上鎖順序：

4.2.4.1.1      「MFC」 鎖 ㄇ 字型。

4.2.4.1.2      閥件（ex. v187閥, 2^nd valve）鎖對角。

4.2.5          上鎖磅數：25 -> 35lb/in

 

4.3          更換後

4.3.1          Pump purge, check 

4.3.1.1    MFC flow 抽乾時沒有流量

4.3.1.2    N2充滿時，flow為全流量

4.3.2          Test LR

4.3.3          He detector 1x10^-11

4.3.4          MFC cal 10 點（spec <1%）

4.3.5          機台Mon PA/ER

4.3.6          系統PTS上機

4.3.7          系統MFC工單結案