EP004.附屬機台 -- chiller (冷卻器）

 

Chiller

The TCU uses Fluorinert coolant (FC-3283) to prevent RF power from traveling through the coolant and shorting to ground. 

The TCU routes coolant to and from the lower electrode. The coolant enters through an inlet, is directed through channels in the seal plate, and exits through an outlet. 

The TCU features a single tank system, which maintains the electrode temperature. The temperature of the TCU tank is determined by a user-programmable TCU parameter setpoint. The TCU parameter setpoint is controlled by a thermocouple in the TCU tank. 

Due to thermo losses in the TCU lines, the electrode temperature may be slightly different than the TCU temperature. A separate electrode thermocouple allows you to monitor the electrode temperature. 

TYPE&model

1.  群力科技：

代理丸山製作所株式会社製造之MARUYAMA Chiller全系列產品

    自創社以來，本公司以「控制流體溫度」為目標，持續半導體製造機台技術革新，朝Chiller製造邁進。蒙各界厚愛，我們得到世界眾多客戶的信賴，成長至今，近年不只是半導體，成長中的產業(如：液晶、MEMS、有機EL等)也對本公司寄予很高的期待。

今後在全球化下，我們將以世界認同的「技術及品質」正面回應客戶的期待。

2. 捷亮科技：

致力於專業的chiller冰水機設備技術維修

    創立於民國98年；致力於專業的chiller冰水機設備技術維修，為強化多元的市場脈動，提升高效率的服務品質；捷亮科技與ATS 精進設備研發，並提供工程人才技術指導。提供完整的客戶技術支援，chiller冰水機設備生產、安裝、改機、維修、銷售等。

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