EP007.主機台-- 系統類別大盤點2--Chamber

 

大盤點：

    熟悉一樣事物，若能從大盤全面掌握，能最快進入狀況，以下圖做為入門，主要分為兩大部份

1. Transfer module
2. Process chamber

3-2 Chamber （PM），製程腔體

1.     CX: 

2.     EX: 

3.     EXP: 

4.     FX: 

5.     FX Hydra:

6.  GX

3-2-2-1 Gasbox

圖 Integrated Gas box

3-2-2-2 RF power

1.     TCP RF Loop

1）.  TCP generator

2）.  TCP match 

2.     Bias RF Loop

1）.  Bias generator

2）.  Bias match

3-2-2-4 Temperature

1.     ESC four zone temp

l   Inner

l   Mid-inner

l   Mid-outer

l   Outer

2.     Heater channel 

l   Bias electro housing temperature

l   chamber wall Front right

l   chamber wall Front left, 

l   chamber wall Rear right 

l   chamber wall Rear left.

l   Throttle valve temp

3.     TCW / TCR : setting 120

 

3-2-2-5 Pressure

l   CM1: process manometer

l   CM2: chamber manometer

l   CM3: foreline manometer

l   Back side Helium pressure: UPC

l   TM pressure: 

l   Airlock pressure: hasting gauge