乾式泵浦- Dry pump

主要是藉著高速轉子壓縮氣體或動能傳遞將氣體排出,因為非接觸型,轉速高達數千至數萬 rpm,抽氣速率遠大於機械迴轉幫浦,用來製造真空環境。

通常只用作粗抽,缺點是抽氣速率小,往往要並聯使用以提高抽氣速率

1. EBARA

台灣荏原精密股份有限公司，係日商荏原製作所轄下精密電子事業群在台灣設立的子公司，成立於1997年9月深耕迄今。日商荏原集團轄下精密電子事業群擁有尖端化學機械研磨、真空領域的領先技術，支援台灣半導體製造業及面板產業等客戶，提供高品質的生產設備、技術支援及維修服務據點

打造乾淨真空環境不可或缺的非接觸結構真空泵浦。荏原的真空泵浦有獨家研發的轉子，具有省能源、小型・輕量的特長，以半導體製造工程為中心，活躍於半導體產業用途及醫療、研究開發等各種各樣的領域。

台灣樫山基於永續經營的理念，我們承諾致力建立良好工作環境，防止職業災害及疾病的發生，以符合法規標準。

在產品設計考量環境面，開發省資源、節約能源、廢棄物減量和循環利用產品，努力防止環境污染。降低公司在產品、物料、人員、機械設備所產生之職業安全衛生衝擊及不可接受風險。持續推動改善、提昇公司安全文化，並善盡企業社會責任。