EP011.漏率是什麼？怎麼算？

 

Keyword: Leakback, LR, Leak rate

漏率是什麼？怎麼算？

1.     名詞解釋： 率是指以每單位時間之某物來量度另一某物（或事）之大小、數量或程度

2.     漏率單位：mTorr/min. (1分鐘壓力的變化量（CM1讀值變化量)

3.     mTorr 是壓力單位，由「CM1」讀取數值。

4.     按Leakback，可得Chamber漏率，機台怎麼動作自動算出漏率呢？

4.1  Pump down 5min

4.2  Pendulmn valve close

4.3  Stablize 30s

4.4  計算CM1 變化量，壓力上升多少mT (120s)

5.     有哪些漏率及規格？

5.1  Chamber 漏率：1 mT/min.

5.2  Primary vale 漏率：0.1 mT/min.

5.3  Second valve 漏率：0.1mT/min.

練習題：

弄懂以上的概念，再來觀察chamber 漏率怎麼得來的