EP012. DA sensor (Dynamic Alignment)是什麼？

 

DA sensor (Dynamic Alignment)

1.1       DA sensor 是什麼功能？

VTM傳送的”動態校正”，VTM傳送時，當wafer 有偏移，可即時偵測到，並做適度的補償，以避免wafer 滑落導致破片損失。

 

1.2       DA 偵測哪些位置？

VTM 有6組 DA sensor，分別在PM1，PM2，PM3，PM4，Airlock1，Airlock2，每個位置有兩顆sensor，如下圖1，3.

1.3       DA sensor在機台的位置？Airlock1下方的柱子上

 

 

1.4       常見alarm 處理步驟

1.2.1  現場確認wafer 位置是否準確

1.2.2  Alarm – 1)選continue. (該片要傳送時，才會跳出下一個alarm

1.2.3  Alarm – 2)判斷補償，with or without compensation

1.2.4  Alarm – 3)確定 “YES”