EP012. VTM robot replacement

 

VTM robot replacement

1.1      前置準備

1.1.1 RSU (參數備份，robot 設定檔備份）  

1.1.2 置具(home, chamber jig, 洞洞板）

1.1.3 吊臂

1.1.4 水平氣泡儀

1.1.5 Chamber pump purge

 

1.2      更換

1.2.1 拆前確認AB arm水平

1.2.2 鬆青蛙腿T1（5顆）/T2（2顆）

1.2.3 移除青蛙腿

1.2.4 鬆robot controller 6顆

1.2.5 吊臂🏗，移除

1.2.6 Guide pin 記號

1.2.7 回裝並確認水平

1.2.8 復電

1.2.9 更換後robot 設定

 

 

1.3      更換後robot 設定

1.3.1 RSU連線

1.3.2 丟回備份檔

1.3.3 丟回備份參數

1.3.4 設定date, time

1.3.5 設定T1/T2 zero “position”,  “phase”,”Z”

1.3.6 JIG do home.(抓住arm避免暴衝）

 

1.4      Robot 位置校正

1.4.1 設定RTZ

1.4.2 PM1:PM2:PM3=station 123

1.4.3 AL1:AL2=station 11/12

1.4.4 Move->hand off->jig->save

1.4.5 Calibrate DA(洞洞板）

1.4.6 Spec < 0.005

1.4.7 DA optimized