EP014. UI operate 頁面數字函義

 

UI operate頁面數字函義

1        Step number: recipe進行中的步數

2        Current step type: 有三個模式，stable, time, EPT

2.1       Stable: 各參數都符合soft tolerance才會進入下一步，否則就會出現stable fail alarm.

2.2       Time: process 時間，秒為單位。

2.3       EPT：endpoint，蝕刻結點，藉由OES設備，偵測光譜訊號。

3        Process elapsed time: 設定時間及進行秒數

4        Pressure：chamber 壓力，CM1

5        應用：當機台有alarm，可以從這頁面初步判斷process是否已完成，或進行到第幾步，第幾秒，是否需補蝕刻。