EP021. 什麼是 MAX EP alarm??

 

Keywords: OES, Endpoint, EP

什麼是 MAX EP alarm?? 

答：Maximum End point alarm (設定時間內無法偵測到蝕刻終點。）

還不能瞭解就要先瞭解以下幾個東西：

1.  簡述EPD之功用

答：偵測蝕刻終點;End point detector利用波長偵測蝕刻終點

2. 在機台上哪個是 End point detector （光諎原理） 

答： OES (spectrometers used for optical emission spectroscopy) 

         用於光學發射光譜的光譜儀

OES簡介

3.  Recipe step type 設定在哪？

答：Recipe window/ recipe / Step type 為 EndPt

1.Stable: 各參數都符合soft tolerance才會進入下一步，否則就會出現stable fail alarm.
2.Time: process 時間，設定此step的時間，以秒為單位，。
3.EndPt：endpoint，蝕刻結點，藉由OES設備，偵測光譜訊號來結束這step。

4. Recipe step process time 設定在哪？

答：Recipe window/ recipe / Process time (以秒為單位）

Recipe 參數設定

回到問題點，什麼是MAX EP ALARM，舉例

確認 Recipe 設定，在 EndPt step，

在max process time 65秒內沒達到設定值，

UI 就會亮紅燈 ，秀出MAX EP ALARM @stepX  65s。

StepType & process time 設定

處理步驟：

此時我們要檢查 OES 訊號是否正常、

RF POWER是否正常輸出、

Process pressure 是否穩定。

這些都正常，就請製程補蝕刻，完成後續的步驟。