EP016. non use gas EC change

 

non use gas EC change

1.     目的：non use gas, MFC flow 若超出hard tolerance，縱使是沒用到的gas line, 還是會造成alarm，導致機台亮紅燈而無法動作。

2.     作法：修正EC的hard tolerance 及soft tolerance 為100，就可以PASS.