EP017. 什麼是hard tolerance alarm及soft tolerance alarm?

 

什麼是hard tolerance alarm及soft tolerance alarm?

1        Recipe 有設定兩個誤差值（tolerance），來持續監控機台的運作狀況，假如壓力讀值超出設定，機台就會發報alarm，送出簡訊通知值班處理。

1.1        Soft tolerance : If a value is greater than the default soft tolerance value, the 2300 software posts a warning alarm(亮黃燈)。

1.2        Hard tolerance: If a value is greater than the default hard tolerance value, the 2300 software posts an error alarm（亮紅燈）。

1.3        如果讀值符合設定，the 2300 software posts an stable（亮綠燈）。

1.4        壓力、溫度、功率、MFC flow等等，任何感知器都可以設定tolerance，來監控機台，超出規範就發報alarm。

2        實際例子，壓力設定在10mT，

2.1       0-T1數值在soft tolerance 內，UI上會亮「綠燈」。

2.2       T1-T2高於soft tolerance，T2-T3低於soft tolerance，這超出soft tolerance 的表現，UI上會亮「黃燈」。

2.3       T3-T4低於hard tolerance，T4-T5高於hard tolerance，這超出hard tolerance 的表現，UI上會亮「紅燈」。

3        什麼是stable fail alarm?

3.1       在stable step，壓力一直在振盪，振盪伏度大於soft tolerance，無法穩定下來，就會亮紅燈變成hard alarm。首先在alarm page 看到stable fail的字眼，再來就要看datalog，來初步判斷是何種故障。

3.2       以下圖為例1，第一步，壓力設定在10mT，process time 50秒。在這50秒內，壓力一直超出soft tolerance，持續亮黃燈，到了設定的50時，就會變成亮紅燈，這稱為「stable fail」

3.3    以下圖另外一個例子2，back side Helium pressure，第一步，壓力設定在26mT，process time 50秒。壓力一直無法達到soft tolerance 的範圍內，process time 50時，就會亮紅燈，stable fail alarm。這是初步判斷alarm 原因，進一步就要思考為何壓力達不到規格，以進行故障排除

4        什麼是hard tolerance alarm? 為什麼alarm（亮紅燈）了？

4.1       Datalog 數值一超出hard tolerance 就會alarm而亮紅燈中止process嗎？答案是「不會。」

4.2       怎樣才會hard tolerance alarm?

4.2.1      先看EC設定：hard tolerance time out + stabilized time，Time mode step，

            6＋3秒，也就是說在9秒內無法穩定在soft tolerance內，

            就會hard tolerance alarm。

4.2.2      以下圖為hard tolerance 的例子：

            step 1，壓力設定10mT，hard tolerance 2%，soft tolerance 1%。

            在前6秒壓力超出hard tolerance，在7-9秒還無法穩定在soft tolerance內，

            就 hard tolerance alarm，中斷process。