EP013.設定 VTM robot, R,T代表什麼？

設定 VTM robot, R,T代表什麼？

1   名詞定義：R 徑度（radius），T角度（Theta），Z高度

2     應用：VTM robot 怎麼知道Airlock1 在什麼位置？

2.1          VTM robot 是旋轉運動，藉由R，T，Z定義位置。

2.2          R：Robot伸出去的長度。（1000 count = 1mm）

2.3          T：Robot 轉向的角度。（300 count = 1mm）

2.4          Z：Robot 的高度。

3     VTM 作動：轉向 -> 升高 -> 伸長。例：（轉向AL1，升高，伸長）

4      PM1/PM2/PM3/AL1/AL2 這些位置怎麼來的？

    見VTM robot replacement （連結）

    藉由置具定義RTZ，和校正來完成各傳送位置。