1. 名詞解釋:固態繼電器(Solid State Relay,縮寫:SSR)是由半導體控制負載流經固態開關的無接點繼電器,在機台上,小電流控制大電流的裝置.
2. 機台應用:TCW/TCR等溫度百分比輸出(output value),就是藉由SSR 控制輸比百分比,來達到溫度控制。
Chamber左側,AC enclosure 內,如圖
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