032. gasbox 有什麼東西？有什麼功能

 

JETSTREAM gasbox

keywords: NO, NC, MFC, primary valve, second valve， delivery switch alarm

1. gasbox 是什麼東西，有什麼功能？

答：乾蝕刻會用的製程氣體，就是藉由GASBOX，匯集各種氣體的裝置，有眾多閥件及MFC控制氣體進入Chamber使用。

GASBOX在UI的位置與實體圖

2. gasbox 內有什麼東西及功能？

答：

1）Primary valve：進到chamber 內的第一道閥，可「氣動」及「手閥」作為開關動作。

2）MFC：流量控制器，有7種規格，附有 Transduer可以偵測管路壓力。

3）Second valve：進到chamber 內的第二道閥，「氣動」作為開關動作。

4）PS3: pressure switch 3，又稱為deliver switch，此為 interlock，若gas box 因閥件問題無法順利流進chamber，就會卡interlock, 出現 delivery switch is not vacuum alarm。

5) purge valve：要把該管路MFC pump down，透過V2/V4 到DPM抽掉。

6）V2/V4:接到DPM的最後一道閥件；V2: 2nd valve 後到DPM，V4: purge valve 到DPM

PS. DPM: Dry pump module

7）CDA bank：電磁閥，電腦UI給訊號，開啟電磁閥，電磁閥給氣去推動閥件動作。

GASBOX有哪些零件

3. gasbox 內有一特殊閥件？

答：就是 EX/FX 的 V187 valve（N.O.） , 全部都是CDA 給氣時，開啟閥件，只有V187常開閥，CDA給氣時，閥件「關閉」。

常開閥件，常閉閥件