033. AC Line Voltage Calibration

 

LTC board

reference: 202-049542-150, Rev. H Removing and Installing the Lam Temperature Controller

Keyword： AC Line

1. 為什麼要校正 AC Line voltage？

答：因為LTC 讀到的AC電壓是透過「變壓器」讀來的，校正後才會得到精準的溫度控制。

2. 怎麼校正AC line？

1）. TCP AC cable 47P1, pins 1 and 3, 讀到的交流電壓為 V1

2）. AC Line Voltage calibration gain 設1. AC Line 頁面讀值為 V2

3）. V1/V2 = AC line voltage calibration gain 的倍數

4）. 輸入後應該要match or 近乎 V1 電壓

PS. AC Line Voltage 會影響到 Temp output value. ->進而影響 「溫度」->影響 stable time....

 

AC Line voltage calibration 頁面

AC Line Voltage gain

AC Line voltage 讀值

LTC 在機台上的位置