030. A+C 是什麼？

 

CM1:process manometer

這不是教學，只是分享交流

關於壓力，可回顧"壓力篇" https://hungnite.blogspot.com/2023/06/ep020.html

keywords： Autozero, conductance

Reference: 

202-803252-001, Rev. R Autozeroing the Process and Chamber Manometers
202-803253-001, Rev. P Performing the Conductance Learn

1. 什麼是A＋C？

答：autozero + conductance learn

2. 什麼功用？

答：1) CM1/CM2 零點需要維持住，也就是底壓（base pressure)，是壓力的基準點，
            若有誤差(offset)，需要做auto zero 校正。

        2) Conductance learn 從curve 可看出壓力系統是否有問題，諸如CM1底壓，pumping speed, 

            throttle valve 作動等等。

Note: The data generated by Conductance learn can also serve as an indicator of system performance with respect to pumping speed, throttle valve operation, and manometer calibration.

3.  auto zero怎麼做？

答：看圖，注意事項：

1）pump down

2）PV 全開，讀值1000 為pump down

3）底壓（base pressure, BP)，CM1/CM2 讀值趨近於零（絕對壓力）

      若CM 讀值>1.5，可能有異常，先確認manometer 是否裝好。

4）按”AutoZero”

5）確認Zero offset 頁面

6）Zero offset spec.要符合規範

7）Lam建議 CM1 < 8 mT, 換掉，實際規範問自家學長。

Auto zero

4.  conductance learn 怎麼做？怎麼判斷好壞？

1）Generate data. 跳數分鐘後，就會產生新的曲線。 “New”

---------- 以下說明圖

2）Input gas，通常設定O2，80sccm

3）橫軸為 throttle position。

4）縱軸為 Flow/pressure（CM1），可從單位看出相對應的項目

Conductance learn

典型的曲線

以下為異常曲線，若底壓有異常，非零的情況下，"新"跑出來的曲線就異常，

能否看出其中的差異，只能多練習。

異常的曲線