034. CWAC auto dummy replacement.

 

CWAC Window

Keywords: CWAC, auto dummy replacement, dummy更換

前言：

        處理機況的基礎功，得先「懂得機器運作的基本原理」，觀察正常時是怎麼作動的，當機器異常時，才有本事觀察出異常點，以下介紹dummy更換的動作順序及虛擬FOUP之命名。

1. 什麼是CWAC？

Ans： Cover Wafer Auto Clean

2. 機台內的dummy, 因使用需求差異，主要分為兩型態:

1）8＋8

2）12＋12

第一組為dummy1 : 虛擬FOUP 為ToolID +001

第二組為dummy2 : 虛擬FOUP 為ToolID +002

以數量分的dummy

3. 機台內的dummy 自動更換的動作順序, dummy 8+8 

更換動作的觀念，皆2個動作完成

左圖為dummy1更換順序

1.ToolID001 s1-s12 unload to FOUP s13-s24

2.FOUP s1-s12 load to ToolID001 s1-s12 

右圖為dummy2更換順序

1.ToolID002 s13-s24 unload to FOUP s1-s12

2.FOUP s13-s24 load to ToolID002 s13-s24 

dummy 8+8 自動更換的動作順序

4. 機台內的dummy 自動更換的動作順序, dummy 12+12

更換動作的觀念，皆2個動作完成

左圖為dummy1更換順序

1.ToolID001 s1-s12 unload to FOUP s13-s24

2.FOUP s1-s12 load to ToolID001 s1-s12 

右圖為dummy2更換順序

1.ToolID002 s13-s24 unload to FOUP s1-s12

2.FOUP s13-s24 load to ToolID002 s13-s24 

dummy 12+12 自動更換的動作順序