028. 字詞，弄懂後，智商變高，功力大增

 

No.	縮寫	解釋
1	OES	Optical Emission Spectrometer，光譜分析儀，不同顏色的光，有不同的波長。
2	Recipe	製程步驟設定。見UI recipe 頁面。可看到各步的壓力、溫度、功率等設定參數。
3	CDA	Compressed dry air，壓縮空氣。
4	BKM	Best known method，已知最佳方法
5	CIP	Continue improvement Process，持續改善計劃
6	CM1	Process manometer，量測process時壓力
7	CM2	Chamber manometer，量測chamber 壓力
8	CM3	Foreline manometer，量測foreline壓力
9	UPC	Unit Pressure Control，ex. B/H UPC, TM N2 UPC
10	LTC	Lam Temperature Control，Lam溫度控制電路板
11	FIB	Facility Interface Box. 廠務 gasline 接進機台的gasbox 介面
12	UI	User Interface, 機台操作介面。
13	B/H	Backside Helium，ESC